一种具有轴向高分辨率的三差动共焦显微镜成像方法及成像装置制造方法及图纸

一种具有轴向高分辨率的三差动共焦显微镜成像方法及成像装置，通过三差动探测改进原有共焦显微镜的轴向分辨率。系统光路中，利用针孔轴向微位移装置改变共焦显微镜光探测处针孔的轴向位置，实现信号的三差动探测。本发明专利技术在保证针孔位移量的稳定性的同时，提高了分辨能力，且实现简单。

Three differential confocal microscope imaging method with axial high resolution and imaging device

An axial high resolution three differential confocal microscope imaging method and an imaging device are disclosed, and the axial resolution of the original confocal microscope is improved by three differential detection. In the system light path, the pinhole axial micro displacement device is used to change the axial position of the pinhole at the probe of the confocal microscope, so as to realize the three differential detection of the signal. The invention improves the resolving power while ensuring the stability of the pinhole displacement, and the realization is simple.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种提高共焦显微镜分辨率的装置及成像方法，特别是一种具有轴向 高分辨率的三差动共焦显微镜成像方法及成像装置，实现信号的三差动探测来改进共焦显 微镜轴向分辨率的成像。
技术介绍
共焦显微镜是由美国学者M. Minsky于1957年首次提出，并于1961年获得美国专 利，专利号为US3013467。共焦显微镜将点光源、点物和点探测器三者置于彼此对应的共轭 位置，系统的分辨率得到了显著提高。一般的共焦显微镜基本原理如图3所示，点光源20 发出的光经过物镜21和半透半反镜22后，照射样本23内焦平面上的一点，而该点的反射 光经过半透半反镜22和集光透镜M后可以在探测针孔25处被探测器沈探测。通过移动 样品或者利用光路扫描，就可以完成对样本焦平面的逐点扫描，得到样本光学横断面的共 焦图像。点光源20与探测针孔25相对于物镜焦平面是共轭的，焦平面外的点不会在探测 针孔处成像，因此它大大提高了系统的分辨率。为了改善共焦显微镜的轴向分辨能力，赵维谦等提出了三差动显微成像方法，该 方法同时探测三路信号，通过处理三路信号改善系统轴向分辨率。具体实施方法参见“三差 动共焦显微成像方法和装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种具有轴向高分辨率的三差动共焦显微镜成像方法，其特征在于实现步骤如下：（１）将光探测处针孔固定在针孔轴向微位移装置一端上，针孔轴向微位移装置另一端固定在基板上；由信号同步装置控制针孔轴向微位移驱动装置发出驱动信号，驱动针孔轴向微位移装置改变光探测处针孔位置，依次将针孔置于共焦显微镜的光学系统中集光透镜焦点处、焦后ｕｍ处和焦前ｕｍ处，其中ｕｍ为针孔距集光透镜焦点距离的归一化光学坐标；（２）信号同步装置实现被测样品扫描信号、针孔轴向微位移装置驱动信号，数据采集装置触发信号的同步，保证在光探测处针孔移动后，再对被测样本逐点扫描，并同时采集信号；（３）在步骤（１）中上述针孔的三个位置，即光探测处...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张雨东，李昊，卢婧，史国华，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：90