致动器、液滴喷射头及其制造方法、以及液滴喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供致动器、液滴喷射头及其制造方法、以及液滴喷射装置。本发明专利技术涉及的致动器包括：具有第1面的基板；被设置成在所述第1面中在第1方向上延伸并在与所述第1方向交叉的第2方向上彼此相邻的多个第1导电层；具有第1部分以及所述第1部分以外的第2部分的压电体层，所述第1部分被形成为分别覆盖多个所述第1导电层的至少一部分；具有第3部分和第4部分的第2导电层，所述第3部分沿所述第2方向延伸，以便连续覆盖多个所述第1部分，并且从与所述第1面垂直的方向观看时与所述第1导电层的至少一部分重叠，所述第4部分与所述第3部分电连接并形成在所述压电体层的所述第2部分之上，并且在所述第1方向上延伸；具有形成在所述第2导电层的所述第4部分之上并在所述第1方向上延伸的第5部分的第1引线配线；以及被形成为覆盖所述第1引线配线的至少一部分的保护膜；其中，所述压电体层具有被设置成在所述第1方向上延伸并在所述第2方向上彼此相邻的多个第1开口部，所述压电体层的所述第1部分是夹在所述第1开口部之间的部分。

Actuator, droplet ejection head, method for manufacturing the same, and droplet ejection device

The present invention provides an actuator, a droplet jet head, a method of manufacturing the same, and a droplet ejection device. The present invention relates to an actuator having first surface of the substrate; is arranged on the first surface extending in a first direction and in the direction of second direction intersecting with the first adjacent to each other on a plurality of first conductive layer; a piezoelectric layer second part of the first part and the first part. The first part, is formed of at least a portion of which covers more of the first conductive layer; a second conductive layer having third part and the fourth part, the third part along the second direction, so that continuous coverage of a plurality of the first part, and at least partially overlapped from the first the watch and the direction perpendicular to the surface of the first conductive layer, the fourth part and the third part is electrically connected and formed on the second part of the piezoelectric layer on the body, and extending in the first direction is formed on; The second conductive layer on the fourth part and fifth part first leads extending in the first direction of the wiring; and is formed as a protective film covering at least a portion of the first lead wires; wherein, the piezoelectric layer is arranged in the first direction and extension in the second direction more than first adjacent openings in the piezoelectric layer. The first part is clamped in the first opening part part.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及致动器、液滴喷射头及其制造方法、以及液滴喷射装置。
技术介绍
例如，已知在能够用于图像记录装置以及显示器制造装置等的喷墨式打印机等液滴喷射装置中的用于喷射墨水等液滴的液滴喷射头中使用具有压电元件的致动器。这样的致动器例如通过施加驱动信号等电压来使压电元件的压电体变形，由此能够使形成在压电元件下方的振动板等基板变形从而改变压力室内的容积。由此，液滴喷射头能够将被供应到压力室内的墨水等液滴从喷嘴孔喷射。在这样的致动器中，已知有如下的共用上部电极构造形成多个压电元件的压电体，覆盖压电体的电极(以下也称为“上部电极”)以连续覆盖多个压电体的方式形成(专利文献1)。在共用上部电极构造的致动器中，与被压电体覆盖的电极(以下也称为“下部电极”)相比，上部电极需要起多个压电元件的共用电极的功能，在其引线配线中需要流过比流经下部电极的引线配线的电流更大的电流。因此，上部电极的引线配线被要求具有高的可靠性。在先技术文献专利文献专利文献1 日本专利文献特开2009-172878。
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术的一个方面在于提供具有高可靠性的致动器。本专利技术的一个方面在于提供具有上述致动器的液滴喷射头。本专利技术的一个方面在于提供具有上述液滴喷射头的液滴喷射装置。本专利技术的一个方面在于提供具有高可靠性的致动器的制造方法。本专利技术的一个方面在于提供具有上述致动器的液滴喷射头的制造方法。用于解决问题的手段(1)作为本专利技术的一个方面的致动器包括基板，所述基板具有第1面；多个第1导电层，所述多个第1导电层被设置成在所述第1面中在第1方向上延伸，并在与所述第1方向交叉的第2方向上彼此相邻；压电体层，所述压电体层具有第1部分以及所述第1部分以外的第2部分，所述第 1部分被形成为分别覆盖多个所述第1导电层的至少一部分；第2导电层，所述第2导电层具有第3部分和第4部分，所述第3部分沿所述第2 方向延伸，以便连续覆盖多个所述第1部分，并且从与所述第1面垂直的方向观看时与所述第1导电层的至少一部分重叠，所述第4部分与所述第3部分电连接并形成在所述压电体层的所述第2部分之上，并且在所述第1方向上延伸；第1引线配线，所述第1引线配线具有第5部分，所述第5部分形成在所述第2导电层的所述第4部分之上，并在所述第1方向上延伸；以及保护膜，所述保护膜被形成为覆盖所述第1引线配线的至少一部分； 其中，所述压电体层具有多个第1开口部，所述多个第1开口部被设置成在所述第 1方向上延伸并在所述第2方向上彼此相邻，所述压电体层的所述第1部分是夹在所述第1开口部之间的部分。此外，在本实施方式的记载中，例如将“ 之上”的措词用作“在特定物(以下称为 “A”)的“上面”形成其他特定物(以下称为“B”)”等的意思。在本专利技术的记载中，在该例子的情形下使用“ 之上”的措词，以表示包括在A上直接形成B的情形、和在A上经由其他物形成B的情形。同样地，“ 之下”的措词包括在A下直接形成B的情形、和在A下通过其他物形成B的情形。根据本专利技术，由于第1引线配线被保护膜覆盖，因此能够防止第1引线配线的剥离。由此，能够提供可靠性高的致动器。(2)在本专利技术的一个方面中，也可以如下所述第2导电层的所述第3部分还覆盖所述压电体层的所述第2部分的一部分，所述第1引线配线还具有第6部分，所述第6部分与所述第5部分电连接并形成在所述第2部分之上的所述第3部分之上，并且在所述第2方向上延伸，所述第6部分也被所述保护膜覆盖。(3)在本专利技术的一个方面中，也可以如下所述压电体层的所述第2部分具有使所述第1导电层的一部分暴露的第2开口部，在所述第2开口部内形成与所述第1导电层电连接的第2引线配线，所述保护膜还覆盖所述第2引线配线的一部分。(4)在本专利技术的一个方面中，也可以如下所述保护膜具有敞开所述第3部分的一部分的第3开口部，将被所述第1导电层和所述第2导电层夹持的所述压电体层的所述第1部分设为驱动区域，当将通过所述第3开口部从所述保护膜暴露的所述第3部分的一部分设为第7部分时，所述第7部分的所述第1方向上的两个端部向所述第2方向延伸，并且从与所述第1面垂直的方向观看时连续与多个所述驱动区域重叠。(5)在本专利技术的一个方面中，也可以如下在所述基板的所述第1面和所述压电体层的所述第2部分之间形成有由导电材料构成的基底层。(6)在本专利技术的一个方面中，也可以如下所述保护膜的材质包括氧化物材料、氮化物材料、感光树脂材料以及有机-无机杂化材料中的至少一种。(7)作为本专利技术一个方面的液滴喷射头包含上述任一个致动器。(8)作为本专利技术一个方面的液滴喷射装置包括上述的液滴喷射头。(9)作为本专利技术一个方面的致动器的制造方法，包括以下工序准备具有第1面的基板；形成多个第1导电层，所述多个第1导电层被设置成在所述第1面中在第1方向上延伸，并在与所述第1方向交叉的第2方向上彼此相邻；形成压电体层，所述压电体层具有第1部分以及所述第1部分以外的第2部分，所述第1部分被形成为分别覆盖多个所述第1导电层的至少一部分；形成第2导电层，所述第2导电层具有第3部分和第4部分，所述第3部分沿所述第2方向延伸，以便连续覆盖多个所述第1部分，并且从与所述第1面垂直的方向观看时与所述第1导电层的至少一部分重叠，所述第4部分与所述第3部分电连接并形成在所述压电体层的所述第2部分之上，并且在所述第1方向上延伸；形成第1引线配线，所述第1引线配线具有第5部分，所述第5部分形成在所述第 2导电层的所述第4部分之上，并在所述第1方向上延伸；以及形成保护膜，所述保护膜被形成为覆盖所述第1引线配线的至少一部分； 其中，所述压电体层具有多个第1开口部，所述多个第1开口部被设置成在所述第 1方向上延伸并在所述第2方向上彼此相邻，所述压电体层的所述第1部分是夹在所述第1开口部之间的部分。根据本专利技术，由于第1引线配线被保护膜覆盖，因此能够防止第1引线配线的剥离。并且还能够防止制造中对第1引线配线造成处理损伤。由此能够提供可靠性高的致动器的制造方法。(10)作为本专利技术一个方面的液滴喷射头的制造方法还包括以下工序通过上述的致动器的制造方法形成致动器；以及在所述基板的所述第2面形成具有与多个所述第1导电层分别重叠的压力室的流路形成板。根据本专利技术，由于第1引线配线被保护膜覆盖，因此可防止第1引线配线的剥离。 而且还能够防止制造中对第1引线配线造成处理损伤。由此能够提供具有可靠性高的致动器的液滴喷射头的制造方法。附图说明图1是示意性地示出本实施方式涉及的液滴喷射头的分解立体图；图2A是示意性地示出本实施方式涉及的液滴喷射头的主要部分的平面图；图2B是示意性地示出图2A的IIB-IIB线上的主要部分的截面图；图2C是示意性地示出图2A的IIC-IIC线上的主要部分的截面图；图2D是示意性地示出本实施方式涉及的压电体层的平面图；图3A 图3C是示意性示出本实施方式涉及的液滴喷射头的制造方法的截面图；图4A 图4C是示意性地示出本实施方式涉及的液滴喷射头的制造方法的截面图；图5A 图5C是示意性地示出本实施方式涉及的液滴喷射头的制造方法的截面图6A、图6B是示意性地示出本实施方式涉及的液滴喷射头的制造方法的截面图；图7A、图7B是示意性地示出本实施方式涉及的液滴喷射头的制造方本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种致动器，包括：基板，所述基板具有第１面；多个第１导电层，所述多个第１导电层被设置成在所述第１面中在第１方向上延伸，并在与所述第１方向交叉的第２方向上彼此相邻；压电体层，所述压电体层具有第１部分以及所述第１部分以外的第２部分，所述第１部分被形成为分别覆盖多个所述第１导电层的至少一部分；第２导电层，所述第２导电层具有第３部分和第４部分，所述第３部分沿所述第２方向延伸，以便连续覆盖多个所述第１部分，并且从与所述第１面垂直的方向观看时与所述第１导电层的至少一部分重叠，所述第４部分与所述第３部分电连接并形成在所述压电体层的所述第２部分之上，并且在所述第１方向上延伸；第１引线配线，所述第１引线配线具有第５部分，所述第５部分形成在所述第２导电层的所述第４部分之上，并在所述第１方向上延伸；以及保护膜，所述保护膜被形成为覆盖所述第１引线配线的至少一部分；其中，所述压电体层具有多个第１开口部，所述多个第１开口部被设置成在所述第１方向上延伸并在所述第２方向上彼此相邻，所述压电体层的所述第１部分是夹在所述第１开口部之间的部分。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：平井荣树，矢崎士郎，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP