【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置等。
技术介绍
1、以往，已知有检测加速度等物理量的物理量传感器。作为这样的物理量传感器，例如已知有检测z轴方向的加速度的杠杆型的加速度传感器等。例如在专利文献1中公开了一种加速度传感器，其通过对基板上的检测部设置阶梯差来形成多个电极间间隙，从而实现高灵敏度化。在专利文献2中公开了一种加速度传感器，其通过在可动体的反面侧设置阶梯差来形成多个电极间间隙，从而实现高灵敏度化。在专利文献3中公开了一种加速度传感器，其通过在可动体的截面处，将与检测电极对置的区域设为凹部形状来减小厚度，构成为通过上下的检测电极夹着可动体来减小阻尼。在专利文献4中，公开了作为用于实现高灵敏度且低阻尼的标准化式的函数式。
2、专利文献1：日本特开2013-040856号公报
3、专利文献2：日本特表2008-529001号公报
4、专利文献3：美国专利申请公开第2017/0341927号说明书
5、专利文献4：日本特开2019-184261号公报
6、在专利文献1中，由于可动体的厚度均匀，且贯通孔的深度均匀，因此贯通孔的孔中阻尼容易变大。在专利文献2中，由于可动体没有贯通孔，因此阻尼非常大，无法确保期望的频带。在专利文献3、4中，电极间间隙的距离恒定，因此难以实现进一步的高灵敏度化。这样，在专利文献1～4的结构中，存在难以同时实现进一步的高灵敏度化和低阻尼化的课题。
技术实现思路
1、本公开的
2、另外，本公开的另一方式涉及一种物理量传感器器件，其包含：以上记载的物理量传感器；以及电子部件，其与所述物理量传感器电连接。
3、另外，本公开的又一方式涉及一种惯性测量装置，其包含：以上记载的物理量传感器；以及控制部，其基于从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。
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1.一种物理量传感器，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的物理量传感器，其特征在于，
7.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
9.根据权利要求1～8中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
10.根据权利要求9所述的物理量传感器，其特征在于，
11.根据权利要求10所述的物理量传感器，其特征在于，
12.根据权利要求11所述的物理量传感器，其特征在于，
13.根据权利要求11所述的物理量传感器，其特征在于，
14.根据权利要求13所述的物理量传感器，其特征在于，
15.根据权利要求9所述的物理量传感器，其特征在于，
16.根据权利要求
17.根据权利要求9～15中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
18.一种物理量传感器器件，其特征在于，该物理量传感器器件包含：
19.一种惯性测量装置，其特征在于，该惯性测量装置包含：
...【技术特征摘要】
1.一种物理量传感器，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的物理量传感器，其特征在于，
7.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
9.根据权利要求1～8中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
10.根据权利要求9所述的物理量传感器，其特征在于，
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