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本发明提供致动器、液滴喷射头及其制造方法、以及液滴喷射装置。本发明涉及的致动器包括：具有第1面的基板；被设置成在所述第1面中在第1方向上延伸并在与所述第1方向交叉的第2方向上彼此相邻的多个第1导电层；具有第1部分以及所述第1部分以外的第2部...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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