【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及使与喷嘴开口连通的压力发生室产生压力变化，具备压电元件的液体喷头、液体喷射装置、压电元件及液体喷头的制造方法，其中压电元件具有压电体层和对压电体层外加电压的电极。
技术介绍
作为液体喷头所使用的压电元件是用两个电极夹持压电体层而构成的，其中压电体层由呈电-机械转换功能的压电材料，例如结晶化过的电介质材料构成。这样的压电元件，例如作为挠曲振动模式的致动器装置而搭载于液体喷头。作为液体喷头的代表例，例如具有下述的喷墨式记录头，即，用振动板构成与排出墨滴的喷嘴开口连通的压力发生室的一部分，并通过压电元件使该振动板变形而对压力发生室的油墨进行加压，从喷嘴开口排出墨滴。搭载于这样的喷墨式记录头的压电元件，例如有利用成膜技术在振动板的表面整体形成均勻的压电材料层，并通过光刻法将该压电材料层切分成与压力发生室对应的形状，按照每个压力发生室独立的方式形成压电元件。作为这样的压电元件所使用的压电材料，可列举出钛酸锆酸铅(PZT)(参照专利文献1)。专利文献1 日本特开2001-223404号公报然而，由于上述钛酸锆酸铅中含有铅，从环境问题的观点出发而寻求由不含铅的铁...
【技术保护点】
１．一种液体喷头，其特征在于，具备：压力发生室，其与喷嘴开口连通；和压电元件，其具备第１电极、形成在上述第１电极上含有铁锰酸铋镧的压电体层及形成在上述压电体层上的第２电极，上述压电体层的结晶优先取向于（１１１）面。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：古林智一，绳野真久，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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