在多个测试位置共享测试资源的方法、自动测试设备、装载和卸载要被测试的器件的处理机以及测试系统技术方案

在多个测试位置（１０２－１０８）处共享测试资源（１１２）的方法在多个测试位置（１０２－１０８）处以时间上的偏移量来执行各个测试流程，各个测试流程（１１６－１２２）在测试流程中的预定位置（１１６ｂ－１２２ｂ）处获取测试资源１１２。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例涉及在对多个器件进行测试的多个测试位置共享测试资源的方 法、自动测试设备、用于将要被测试的器件装载到自动测试设备的多个测试位置或将其从 自动测试设备的多个测试位置卸载的处理机以及用于对多个器件的系统进行测试的系统。
技术介绍
需要对例如存储器元件和集成电路(IC)的组件进行测试。在测试过程中，这些被 测器件(DUT)暴露到各种类型的激励信号中，并且来自这些器件的响应被测量、处理并与 预期的响应相比较。可以通过自动测试设备(ATE)来进行这种测试，其中自动测试设备通 常按照器件特定测试程序或测试流程来执行这种任务。这种自动测试设备的示例是Verigy V93000系列和Verigy V5000系列，其中前一 者是用于测试系统芯片、系统封装以及高速存储器器件的平台。后一者是用于在晶片分类 和最终测试中测试包括闪存存储器和多芯片封装的存储器装置。这种自动测试设备可以包括多个位置，其中每个位置都接收被测器件，由此允许 同时对多个器件进行测试。这种自动测试设备可以包括具有握持机构的器件处理机，其用 于同时将多个要被测试的器件放置在测试位置或者用于在测试完成之后从测试位置移除 器件。自动测试设备提供了允许对器件进行测试的各种资源，并且多位置测试需要所有的 位置都能够得到的相应的ATE资源。虽然存在为每个位置提供的资源，但是在自动测试设 备中也存在昂贵并且仅在各个测试位置处执行的测试程序或测试流程的短时间内使用的 资源(诸如，用于RF测量的RF资源等)。在一种传统的方法中，可以在自动测试设备的每 个测试位置处提供这种特定的资源(例如，用于执行RF测量的资源)，然而这非常昂贵。可 选择地，可以在自动测试设备中提供单个资源并且可以在各个测试位置处执行的共有的测 试流程中对该资源进行复用。然而，这增加了测试时间的开支。此外，可以调整测试流程或 测试程序来产生以以下方式执行的循环测试流程，该方式为当在各个测试位置同时执行测 试流程时测试流程的获取特定资源的这些部分不重叠，然而，这需要为每个测试位置建立 不同的测试流程，这增加了测试准备的复杂度。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供这样一种改善的方法，其用于在具有多个测试位置的自动测 试系统内提供特定的资源，允许利用减小的成本来实施自动测试设备并且避免测试时间开 支和测试流程复杂度。该目的是通过根据权利要求1所述的方法，根据权利要求9所述的自动测试设备、 根据权利要求13所述的处理机以及根据权利要求17所述的系统来实现的。本专利技术的实施例提供了一种用于在多个测试位置共享测试资源的方法，所述方法 包括在多个测试位置处以时间上的偏移量来执行各个测试流程，各个所述测试流程在 所述测试流程中的预定位置处获取所述测试资源。本专利技术的实施例提供了一种自动测试设备，包括多个测试位置，每个测试位置构造为接收要被测试的装置； 特定测试资源，其构造为被选择性地连接到所述测试位置中的一者；以及测试器，其构造为在所述测试位置处以时间上的偏移量来开始执行各个测试流 程，其中，各个所述测试流程包括获取所述测试资源的部分，所述时间上的偏移量被 选择为使得所述测试流程中的、获取所述测试资源的部分不重叠，并且其中，所述测试器构造为将所述特定测试资源连接到正在执行获取所述特定测试 资源的部分的所述测试位置。本专利技术的实施例提供了一种处理机，其用于将器件装载到自动测试设备的多个测 试位置或从其卸载器件，所述处理机包括机构，其构造为将要被测试的器件装载到所述自动测试设备的各个所述测试位置 并且构造为从所述测试位置卸载器件；以及控制器，其构造为控制所述机构，来以时间上的偏移量来装载所述器件。本专利技术的实施例提供了一种用于测试多个器件的测试系统，所述测试系统包括根据本专利技术的实施例的自动测试设备；以及根据本专利技术的实施例的处理机。附图说明将要在下文中参照附图描述本专利技术的实施例。图1是示出了图示通过资源复用来共享特定测试资源的第一传统方法的示意图；图2是示出了图示通过使用循环测试流程来共享特定测试资源的第二传统方法 的示意图；图3是示出了根据本专利技术的实施例的测试系统的框图；而图4是示出了图示通过根据本专利技术的实施例的管道测试流程来共享测试资源的 方法的示意图。具体实施例方式图1是示出了图示使用如图1中示意性地示出的自动测试设备100来测试多个器 件的传统方法的示意图。自动测试设备100包括多个测试位置102、104、106和108。注意，在图1中，自动 测试设备示出为具有四个测试位置。此外，为了将要被测试的器件装载IlOa到各个测试位 置102到108并且将经测试的器件从各个测试位置102到108卸载而提供处理机构110。自动测试设备包括特定资源112，例如，用于在保持在各个测试位置102到108中 的器件处执行RF测量的RF资源。此外，为了选择性地将资源112转换到各个测试位置102 到108而设置复用器114。在各个测试位置102到108处，自动测试设备100已经装载了可 以相同或者可以不同的各个测试流程116到122。各个测试流程包括第一部分116a到122a和第二部分116b和122b。各个测试流程116到122的第一部分116a到122a使用测试资 源来在设置在各个测试位置102到108的被测器件处执行各个测试，其中，每个位置102到 108包括各自的测试资源，使得可以并行执行测试的部分116a到122a。各个测试流程116 到122的第二部分116b到122b获取例如用于对于设置在各个测试位置处的器件执行RF 测试的特定测试资源112。因为自动测试设备100仅包括单个特定测试资源112，所以不能 并行执行各个测试流程116到122的第二部分116b到122b。相反地，测试流程116到122 的部分116b到122b以顺序的方式获取测试资源112，并且测试资源112经由复用器114连 接到测试位置102到108中的一者，更具体地，连接到正在执行测试流程116到122的第二 部分的测试位置。更具体地，在时刻t1;处理机110将要被测试的器件装载IlOa到测试位置102到 108，并且自动测试设备100开始执行各个测试流程或测试程序116到122的第一部分116a 到122a，直到时刻t2。在、到t2之间的时间内，如上所述，因为所有的测试流程获取设置在 每个测试位置102到108处的资源，所以并行完成器件的测试。在时刻t2，并行测试完成， 并且获取为所有的测试位置102到108仅提供一次的特定资源112。在t2与t3之间的时 间段内，第一程序流程116在位置102处执行其第二部分116b。此时，特定资源112经由 复用器114连接到当前执行获取RF资源112的那部分测试流程的测试位置102。在时刻 t3，在第一位置102的测试完成并且通过执行测试流程118的第二部分118b而开始第二位 置104处的测试。此时，资源112经由复用器114连接到第二位置104，使得第二部分118b 可以获取资源112。以类似方式，在时刻t4与、之间以及t5与t6之间，在测试位置106和 108处执行测试流程120和122的第二部分120b和122b。注意，图1示出了提供单个测试资源112的示例，然而，也可以例如提供在四个测 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在多个测试位置（１０２－１０８）共享测试资源（１１２）的方法，所述方法包括：在多个测试位置（１０２－１０８）处以时间上的偏移量来执行各个测试流程（１１６－１２２），各个所述测试流程（１１６－１２２）在所述测试流程（１１６－１２２）中的预定位置（１１６ｂ－１２２ｂ）处获取所述测试资源（１１２）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：约亨里瓦尔，马卡斯罗塔克尔，
申请(专利权)人：惠瑞捷新加坡私人有限公司，
类型：发明
国别省市：SG[新加坡]