仿真传统测试系统的行为技术方案

在对器件进行测试中所使用的装置包括具有与其相关的可编程参数集的通信通道（５６）。可编程参数在通信通道上产生偏置条件。偏置控制电路（７５）用来影响由可编程参数产生的偏置条件以便仿真期望的偏置条件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利申请整体上涉及仿真传统测试系统的行为。
技术介绍
自动测试设备(ATE)在半导体器件和电路板组件的制造中起作用。制造商通常使 用自动测试设备，或“测试器”，在制造过程期间，验证器件的操作。这些器件称为“被测器 件”(DUT)或“被测单元”(UUT)。故障的早 期检测消除了否则将会由于加工有缺陷器件导 致的成本，由此降低整个制造成本。制造商还使用ATE来分级各种规格。器件能根据性能 方面的不同等级，诸如速度，被测试和装箱。器件能根据它们的实际性能级，被标记和出售。对此已经开发出了测试程序，在此称为“传统”或预先存在的ATE。已经开发出了 一些测试程序来解决在ATE的无效通信通道上出现的信号。无效通信通道可以包括已经关 闭驱动器、检测器、有源负载和/或PMU或使它们无效的通信通道。尽管无效，但一些通信 通道仍然能在ATE检测器上记录信号电平。这可能是由于例如来自ATE的驱动器的泄漏电 流或一些其他非计划中的信号。不同类型的传统ATE通常对无效通道显示出一致的信号电 平。因此，已经开发出了测试程序来预期这些信号并且在测试期间考虑这些预期的信号。对 这种测试程序，不能记录来自无效通信通道的预期信号会导致DUT不能测试的表示，实际 上，故障表示仅是无效通信通道上的非预期信号的结果。近年来，已经用更新、更高性能的ATE代替许多类型的传统ATE。尽管这些更新的 测试器具有许多新的特性，但是在这些更新测试器上运行的许多测试程序已经被编写并且 依赖传统ATE的性能特性。例如，当禁用驱动器和有源负载时(例如，因此，通信通道被无 效)，测试程序可以依赖于通信通道的预期偏置条件。然而，更新ATE可能不必要具有与传 统ATE相同的性能特性。这可能影响在更新或后继ATE使用现有的测试程序。
技术实现思路
本专利技术申请描述用于仿真传统测试系统的行为的方法和包括电路的装置。在此所述的是在对器件进行测试中所使用的系统和装置，该装置包括具有与之相 关的可编程参数集的通信通道。可编程参数产生通信通道的偏置条件。偏置控制电路用来 影响由可编程参数产生的偏置条件以便仿真期望偏置条件。还描述了其他方面、特性和实 现。在附图和下面的说明书中阐述了一个或多个例子的细节。更多的特性、方面和优 点将从说明书、附图和权利要求变得显而易见。附图说明图1是可以用来产生在仿真期望偏置条件的通信通道上的偏置条件的ATE部件的 框图。图2是用于对器件进行测试的ATE的框图。图3是用在ATE中的测试器的框图。图4是可以用来仿真传统ATE在ATE和DUT间的无效通信通道上的行为的电路图。图5示出了用来为可编程参数集确定无效通信通道的偏置电压的图的例子。不同附图中相同的附图标记表示相同的元件。具体实施例方式图1示出了可以是ATE1的一部分的部件的框图。ATE1可以是传统ATE的后继，诸 如现有ATE的更新模型或ATE的全新模型。这些部件可以用在ATE1中来仿真传统ATE的 偏置条件，或任何其他期望偏置条件。偏置条件可以包括偏置电流，其可以是或包括泄漏电 流。偏置条件可以包括偏置电压，其可以是或包括偏移(例如非零)电压。测试程序2可 设计成与传统ATE (未示出)一起使用。在ATE1中，测试程序2可用来对在通信通道3上 从DUT (未示出)接收的信号执行测试。通过软件、固件和/或硬件的组合实现的控制模块 4控制ATE1上测试参数的编程。这些测试参数可以包括但不限于用于检测器5的测试阈值 (例如高或￥ 电平，以及低或电平)、用来控制(多个)有源负载的电压和/或电流输 出的参数，和/或实现用于其他电路元件7的其他功能的参数。测试参数值影响通信通道上的偏置条件。即，用于测试参数的不同值能产生不同 的偏置条件。在一个例子中，将由用于传统ATE通信通道上的这些参数的特定值产生的偏 置条件与为后继(例如更现代)ATE上的相同参数值产生的偏置条件进行比较。偏置控制 器6 (如下所述)影响通信通道上的(多个)偏置条件，以便用于后继ATE的(多个)偏置 条件与传统ATE匹配。在ATE1的操作期间，可以将测试信号在通信通道3上从ATE1输出到DUT。DUT通 过在通信通道3上提供响应信号来响应。例如可以由DUT响应由ATE提供的测试信号来产 生响应信号。另外，信号可以从DUT提供给通信通道3，而与测试信号无关。另外，DUT可以 从该通道一起断开，而为了系统测试通过，测试程序可能预期始终维持偏置条件。在任一情 况下，诸如检测器5的检测器可以接收信号。可能每一通道有一个检测器(在图1中仅示 出了一个通道)。检测器5可以包括一个或多个比较器和/或其他类型的硬件来实现测量功能。检 测器5的至少一部分也可以用软件实现。检测器5电连接到通信通道3，并配置成从通信通 道接收信号，将那些信号与一个或多个阈值进行比较，以及将比较结果提供给测试程序2。 在此评价比较结果以便确定例如DUT是否通过特定测试。应注意，当在此使用时，电连接不 要求直接物理连接。电连接可以包括两个部件间的中间部件。同样地，电连接可以包括无 连线电连接，诸如由变压器产生的。其他电路7，可以包括有源和/或无源负载，也可以电连接到通信通道3。该其他 电路可以用来例如将一个或多个加载条件提供给通信通道3。加载条件可以包括但不限于 至通信通道3的期望电压和/或电流。ATE1还包括偏置控制器6。偏置控制器6可以用来在通信通道3上仿真期望偏置 条件，诸如传统ATE的通信通道的偏置条件。偏置控制器6可以包括可编程、双向(灌或 拉)偏置电源流8，尽管也可以使用其他类型的一编程和非编程的一信号源来代替电流源 8。由电流源8输出的电流连同已经在通信通道3上的电流和阻抗影响该通信通道上的现有偏置条件，以便在该通信通道上产生新的偏置条件(例如电压)。例如，输出电流可以改 变通信通道上的电压，以便其等效于在相同通信通道上传统ATE预期的偏置电压。 偏置控制器6可以包括电压源/阻抗电路9，其可以包括与阻抗电路9b结合的电 压源9a。电压源9a可以是或不是可编程的。阻抗电路9b可以是电阻、电阻网络、可变电 阻、电容元件、电感元件、晶体管和/或这些或其他元件的一个或多个的组合。在操作中，该 电路传递去往/来自通信通道3的电流，由此在阻抗电路9b上产生电压。当与来自源9a 的电压和通信通道3的(多个)偏置条件结合时，该电压产生仿真传统ATE将在通信通道 3上产生的偏置条件的偏置条件(例如电压)。偏置控制器6可以包括可编程偏置电流源8和电压源/阻抗电路9的组合。包括 这两个元件的电路的例子在下文通过参考图4进行描述。应注意到，偏置控制器6应当具 有足够的可编程范围来补偿被仿真的传统ATE和后继ATE间的偏置差。如上所述，为传统ATE设计的测试程序可能预期无效通信通道(例如禁用的或三 态的通信通道)上的某一电压。一些测试程序可预期该通信通道上的某一电流或其他信号 电平，然而，下文描述预期某一电压的例子。经检测器5检测该电压并传递到执行测试程序 2的处理设备(例如计算机)。在操作中，可以控制(例如编程)偏置控制器6来向无效通信通道3提供信号(例 如电流)，以使在无效通信通道3上产生偏置条件(例如电流和/或电压信号)与将在传 统ATE的无效通信通道上出现的偏置条本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在对器件进行测试中所使用的装置，所述装置包括：通信通道，具有与其有关的可编程参数集，所述可编程参数在所述通信通道上产生偏置条件；以及偏置控制电路，影响由所述可编程参数产生的所述偏置条件以便仿真期望的偏置条件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：图沙尔K格赫尔，劳埃德K弗里克，
申请(专利权)人：泰拉丁公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]