一种从三氯氢硅尾气中回收氢气的方法技术

本发明专利技术涉及气体的吸附分离，具体涉及一种从三氯氢硅尾气中回收氢气的方法，该三氯氢硅尾气为经过除尘、回收氯硅烷和回收氯化氢后的三氯氢硅尾气，含有８５％的氢气和１５％的氮气，该三氯氢硅尾气经加压加热后进入吸附系统，氢气在填料塔中被吸附剂吸附，吸附结束后，通过用真空泵从塔顶抽气，同时从填料塔的塔底通入净化的氢气的方式，将停留在填料塔内未被吸附的杂气排出填料塔，排杂结束后，用真空泵将吸附在填料塔内的氢气脱附并抽送至氯化氢合成炉回收利用；氮气从塔顶采出，经淋洗后通入布袋过滤器循环利用。该方法投资少、运行费用较低、工艺简单，氢气的回收率高，回收的氢气纯度高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体的吸附分离，具体地讲，涉及一种从三氯氢硅生产尾气中回收氢 气的方法。
技术介绍
三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，是一种易挥发、易潮解的无色液体，同时也是一 种应用广泛的有机硅单体，广泛用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成， 是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产多晶硅的主要原料。现有技术中，常见的合成三氯氢硅的方法如下1.合成氯化氢H2+C12 = 2HC1，2.合成三氯氢硅Si+3HC1 = SiHCl3+H2 (主反应)Si+4HC1 — SiCl4+2H2 (副反应)在三氯氢硅合成过程中，氯化氢的转化率一般为80%，有约20%的氯化氢未参加 反应。三氯氢硅合成尾气的主要成分有氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅、氢气、氮气。氢气是合 成三氯氢硅的原料之一，尾气中含有大量的氢气，如果能将其回收并作为可循环使用的原 料，则不仅可以提高原料的利用率，还能降低成产成本，提高经济效益。目前，三氯氢硅尾气中处理氢气的方法有以下几种方法一、氢气直接排放将从三氯氢硅合成炉排出的尾气送至尾气淋洗塔，用大量水进 行喷淋吸收，氯化氢溶解于水中，三氯氢硅等氯硅烷水解生成二氧化硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种从三氯氢硅尾气中回收氢气的方法，其特征在于，包括以下步骤：（ａ）对三氯氢硅尾气进行压缩、加热，所述三氯氢硅尾气为氢气和氮气；（ｂ）压缩加热后的三氯氢硅尾气进入吸附系统中，三氯氢硅尾气中的氢气被吸附系统中填料塔内的吸附剂吸附，氮气从塔顶采出；（ｃ）在填料塔停止吸附后，将净化的氢气从塔底通入，用负压泵从填料塔的塔顶将填料塔中停留的杂气抽送至中充缓冲罐，进行排杂，该杂气为未被吸附的氮气和少量氢气，排杂过程中，保持填料塔内压强不会降低，当净化的氢气前沿移动到塔顶时，排杂结束；（ｄ）用真空泵从填料塔的底部将填料塔中被吸附的氢气抽送至氢气缓冲罐；（ｅ）从塔顶采出的氮气经淋洗塔被水洗，将水洗后的氮气送至...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郎丰平，邱顺恩，黄少辉，黄小明，李明生，
申请(专利权)人：江西嘉柏新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：36