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本发明涉及气体的吸附分离，具体涉及一种从三氯氢硅尾气中回收氢气的方法，该三氯氢硅尾气为经过除尘、回收氯硅烷和回收氯化氢后的三氯氢硅尾气，含有８５％的氢气和１５％的氮气，该三氯氢硅尾气经加压加热后进入吸附系统，氢气在填料塔中被吸附剂吸附，吸附...
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