本发明涉及一种生产三氯氢硅的方法及其设备，具体讲，涉及一种三氯氢硅生产过程中粉尘的处理方法及其设备。所述的三氯氢硅生产过程中的尾气和粉尘的混合物经过滤装置处理，所截留的粉尘再通过两步袋式过滤器处理，处理粉尘的袋式过滤器中设置有至少一个布...

本发明公开了一种三氯氢硅合成装置，包括合成炉筒体（３），合成炉筒体（３）外部有加热部件，其特征是：加热部件包括加热花板（８）和电阻丝（７），加热花板（８）为圆环片状，加热花板（８）设置在合成炉筒体（３）的外表面，加热花板（８）的环形表面...

本发明涉及气体的吸附分离，具体涉及一种从三氯氢硅尾气中回收氢气的方法，该三氯氢硅尾气为经过除尘、回收氯硅烷和回收氯化氢后的三氯氢硅尾气，含有８５％的氢气和１５％的氮气，该三氯氢硅尾气经加压加热后进入吸附系统，氢气在填料塔中被吸附剂吸附，...

本发明涉及一种高纯度三氯氢硅的提纯方法，所述的精馏采用连续式进料，包括如下步骤：ａ）将包含三氯氢硅的原料液送入第一精馏塔进行一级精馏，从塔顶分离出低沸物杂质；ｂ）将所述第一精馏塔的塔釜馏分送入第二精馏塔进行二级精馏，从塔顶分离高纯度三氯...

本发明涉及气体的分离，具体涉及一种从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，该方法包括以下步骤：三氯氢硅尾气进入压缩机，经压缩后进入回收冷凝器，尾气中的三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅由气态被冷凝成液态回收，尾气中的不凝气体经加热后进入吸附系统，...

本发明涉及的是一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法，在三氯氢硅合成炉、精馏塔、氯化氢合成炉之间设置循环的液流通道，所述的液流通道包括依次连接的冷流槽、三氯氢硅合成炉夹套、氯化氢合成炉夹套、热流槽、精馏塔上的夹套，其中三氯氢硅合成炉...

本发明涉及一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法，该方法包括：将硅粉加入到干燥器后，用１４０－１６０℃的干燥氮气干燥５－６个小时；控制系统控制将干燥后的硅粉与氯化氢按１∶３－１∶４的摩尔比送入合成炉；在合成炉内，硅粉和氯化氢进行气固相反应；...