用于超声波键合的方法和设备技术

本发明专利技术涉及超声波键合时用于质量控制的方法，其中使用转换器－键合刀具单元和超声波发生器，并且其中在键合期间通过一个或多个传感器采集一个或多个在键合期间变化的参数来判断键合质量和／或影响键合，并且作为优选的扩展建议，在键合期间采集在超声波刀具的振动方向上代表超声波刀具尖端的至少一个时间－速度历程的速度历程测量信号。本发明专利技术也涉及适合于执行方法的键合设备。本发明专利技术此外涉及用于在超声波键合时的质量控制的另外的方法和适合于执行此方法的键合设备。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于超声波键合的建立和质量控制的方法，特别是通过超声波进行接 线键合连接的方法，以及涉及适合于执行此方法的部件以及装配有所述部件的键合设备， 特别是接线键合机。本专利技术在此方面也特别地涉及楔形-楔形键合。本专利技术总得来说特别 地针对相对于传统技术改进的生产率和质量控制的可靠性。
技术介绍
楔形-楔形键合是用于芯片和基板的接触的普遍已知和可靠的技术。楔形-楔形 键既被用于功率电子设备又被用于微电子设备中。为监测键合过程的质量，使连续产品中 一定百分比的产品接受破坏测试，并且通过统计方法推断全部生产批次的质量。特别地，在可靠性相关领域中进一步质量控制的希望导致近年来开发了多种方 法，这些方法实现了作为以上所述破坏测试的补充的在线监测。应提及的是基本上两种方 法，一个方法是键合连接的非破坏的机械检测，其中小的力(拉力或剪力)作用在连接上以 检测强度，另一个方法是基于信号测量的方法，所述信号可直接从超声波发生器或转换器 的位置指示器获取。第二个方法将转换器内流过的电流、超声波发生器输出上的电压或接线的变形或 这些量的组合用作测量量。将键合力、超声波功率以及键合时间用作确定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于超声波键合、特别是超声波接线键合时的质量控制方法，其中，使用转换器－键合刀具单元和超声波发生器，并且其中，在键合期间通过一个或多个传感器采集一个或多个在键合期间变化的参数的测量信号来判断键合质量和／或影响键合，其特征在于，在键合期间特别地实时采集至少一个代表了超声波刀具的尖端在其振动方向上的时间－速度历程、特别是代表了关于所述时间－速度历程的振动相位历程的速度历程测量信号。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：汉斯于尔根赫西，迈克尔布勒克尔曼，塞巴斯蒂安哈根科特，
申请(专利权)人：赫西和奈普斯有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]