【技术实现步骤摘要】
一种阳极自动化键合设备
本专利技术涉及一种阳极自动化键和设备，属于微电子技术中键合设备
。
技术介绍
微机电系统亦称微系统或微型机械(Micro electronic mechanical system,简称MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，被誉为21世纪非常具有革命性的高新技术，它涉及到微电子、微机械、微光学、材料学、信息与控制，以及物理、化学、生物等多种学科，并集约了当今科学技术的许多高新技术成果。MEMS是集微型机械、微传感器、微执行器、信息处理、智能控制为一体的多功能、高精度微电子机械设备系统。其技术目标是实现信息的获取、处理、判断、执行一体化，具有尺寸小、热容量低、易获得高灵敏度、高响应等特征。这种系统化、多功能一体化和技术的尖端化使MEMS成为一门跨学科跨领域的极具生命力的新兴领域，引起人们的极大兴趣。近年来，我国也在大力开展微电子机械系统的研究。这种微机电系统的制作也是利用常规的集成电路技术和微机械加工独有的特殊工艺的组合，因为后者是制造微机械惯性传感器、微执行器以及微机电系统的关键技术。而作为微机电...
【技术保护点】
一种阳极自动化键合设备，其特征在于包括一个键合处理加热炉，其上部具有一个工件吸取杆，所述工件吸取杆安装于可在垂直方向移动的升降移动机构上，所述升降移动机构的一侧安装视觉显微系统和智能温度调节表；所述键合处理加热炉底部安装一个位移旋转平台。
【技术特征摘要】
1.一种阳极自动化键合设备，其特征在于包括一个键合处理加热炉，其上部具有一个工件吸取杆，所述工件吸取杆安装于可在垂直方向移动的升降移动机构上，所述升降移动机构的一侧安装视觉显微系统和智能温度调节表；所述键合处理加热炉底部安装一个位移旋转平台。2.如权利要求1所述的一种阳极自动化键合设备，其特征在于所述工件吸取杆具有铜吸嘴，所述铜吸嘴上具有电极。3.如权利要求1所述的一种阳极自动化键合设备，其特征在于所述位移旋转平台由智能位移模块控制，其将所述位移旋转平台的移动方向定义成三维方向，分别为水平X轴方向、竖直Y轴方向和前后Y轴方向。4.如权利要求1所述的一种阳极自动化键合设备，其特征在于所述位移...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈涛，潘明强，陈立国，王阳俊，刘吉柱，
申请(专利权)人：苏州迪纳精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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