【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种阳极键合设备，包括外腔、加压装置（１５）、电极（１１），电极（１１）由上电极和下电极构成，外腔上部设有加压装置（１５），从加压装置（１５）往下依次放置隔热材垫板（１４）、上加热器（１３）、第二绝缘垫板（１２）和上电极，其特征在于， 还包括位于外腔底部的基板（４），基板（４）包括底盘和位于其上的凸台，凸台内部均匀开有至少三个沉孔，沉孔内放置弹簧（６），弹簧（６）的上端放置球头柱（７），该球头柱（７）为半球状的另外一端伸出沉孔与隔热基板（８）相接触，在底盘上端凸台的外沿处设置三个均匀分布的限位杆（５），限位杆（５）略高于球头柱与隔热基板（８）的接触面，起到对隔热基板（８）限位的作用；从隔热基板（８）往上依次放置下加热器（９）、第一绝缘垫板（１０）和下电极，下电极和上电极位置相对应。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：甘志银，张廷凯，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：83[中国|武汉]
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