弹性表面波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种弹性表面波装置，其通过形成ＳｉＯ２膜，能够实现频率温度特性的改善，且不容易产生插入损耗的增大，不仅能够使得电极的反射系数充分大，也能抑制不希望的所述寄生现象，由此能够得到更良好的谐振特性或滤波特性。在ＬｉＮｂＯ３基板（１）的上表面（１ａ）形成有多条槽（１ｂ），在槽（１ｂ）内形成有以Ｐｔ为主体的ＩＤＴ电极（３），覆盖ＬｉＮｂＯ３基板（１）的上表面（１ａ）及ＩＤＴ电极（３）而形成有ＳｉＯ２层（４），并且ＳｉＯ２层（４）的表面被平坦化，利用基于瑞利波的响应，且ＬｉＮｂＯ３基板的欧拉角处于（０°±５°，２０８°～２２８°，０°±５°）的范围内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种以覆盖压电基板及IDT电极的方式层叠了 SiO2膜的弹性表面波 装置，更详细而言，涉及一种由在压电基板的上表面所形成的槽中填充的金属构成IDT电 极的弹性表面波装置。
技术介绍
在便携式电话机等移动体通信系统中所使用的双工器(DPX)或RF滤波器中要求 宽频带和具有良好温度特性这两者。以往，作为DPX或RF滤波器，弹性表面波装置被使用 得较广泛。尤其，为了这些用途，在由LiTaO3或LiNbO3等构成的压电基板上形成IDT电极而 成的弹性表面波装置被使用得较广泛。LiTaO3或LiNbO3具有负的频率温度系数TCF。因 此，已知按照覆盖IDT电极的方式将具有正的频率温度系数的SiO2膜在压电基板上成膜而 对温度特性进行改善的方法。但是，在形成有SiO2膜的情况下，在IDT电极的存在电极指的部分和不存在的部 分的边界上在SiO2膜的表面一定会产生阶梯差。而且，由于由该阶梯差所形成的凹凸，存 在插入损耗恶化的问题。作为解决这种问题的方法，在下述的专利文献1中公开了在IDT电极的电极指之 间形成与IDT电极膜厚相等的第一绝缘物层，之后按照覆盖IDT电极及第一绝缘物层的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性表面波装置，具有：压电基板，其在上表面形成有多条槽；ＩＤＴ电极，其以在所述槽内形成的Ｐｔ为主体；ＳｉＯ↓［２］层，其覆盖所述压电基板及ＩＤＴ电极而形成且上表面平坦，所述弹性表面波装置的特征在于，利用在所述压电基板中被激振的瑞利波产生的响应，所述压电基板是欧拉角处于（０°±５°，２０８°～２２８°，０°±５°）范围内的ＬｉＮｂＯ↓［３］基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，门田道雄，矢追真理，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP