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弹性表面波装置制造方法及图纸
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下载弹性表面波装置的技术资料
文档序号:5463003
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本发明提供一种弹性表面波装置,其通过形成SiO2膜,能够实现频率温度特性的改善,且不容易产生插入损耗的增大,不仅能够使得电极的反射系数充分大,也能抑制不希望的所述寄生现象,由此能够得到更良好的谐振特性或滤波特性。在LiNbO3基板(1)的上...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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