自动测试和特征化数据分析方法和装置制造方法及图纸

一种对配置为安装在等离子工艺系统中的组件进行测试的方法。该方法包括提供ＡＴＡＣ（自动测试和特征化）夹具，该夹具包括：系统控制软件包（ＳＣＳ），代表生产系统控制软件；数据管理器模块，配置为通过计算机网络从数据库中取得规范数据；测试管理器模块，配置为执行为测试该组件设计的测试组；ＳＣＳ接口引擎，配置为向该ＳＣＳ提供该测试组；及数据分析模块，配置为提供由计算机实现的数据分析的工具，从而分析测试组件时得到的测试数据。该方法还包括将该ＡＴＡＣ夹具与该组件耦合，以使得该ＡＴＡＣ夹具中的ＳＣＳ能够利用该测试组和至少一部份规范数据测试该组件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】自动测试和特征化数据分析方法和装置
技术介绍
等离子工艺的进步带来了半导体工业的发展。在等离子工艺系统(例如等离子组合工具)被部署到顾客现场之前，会进行一系列的质量控制测试。这些质量控制测试中得到的数据需要加以收集和存储以供后续分析之用。 —般来说，在等离子组合工具被从生产商送往顾客之前，会对等离子组合工具和它的各种组件进行大量的质量控制测试。此处讨论的等离子组合工具是指可含有多个模块(例如处理模块，传送模块等)并可含有多个子系统(例如RF(射频)匹配器，气体盒，TCP匹配器，偏压匹配器等)的等离子工艺系统。为了便于讨论，我们用组件这个词来指代等离子组合工具中的一个单独的或有多个部分的装置。因此，一个组件可以简单如气体管道，也可以复杂得像整个工艺模块。 一个有多部分的组件(例如工艺模块)可以由其它多部分的组件(例如真空系统，气体系统，电源系统等)组成，这些组件又可以是由别的多部分组件或单独组件组成的。 —个等离子组合工具的各种组件可能是由不止一个生产商生产的。例如，等离子组合工具的生产商，例如美国加利福尼亚州费利蒙市的朗姆研究公司，在生产等离子组合工具的时候一般会利用许多第三方供应商的组件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对配置为安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的方法，所述等离子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制，该方法包含：提供ＡＴＡＣ（自动测试和特征化）夹具，所述ＡＴＡＣ夹具至少包括：第一系统控制软件包（“第一ＳＣＳ”），其代表所述生产系统控制软件，数据管理器模块，其配置为通过计算机网络，从第一数据库中取得规范数据，测试管理器模块，其配置为利用所述第一ＳＣＳ执行为测试所述组件设计的测试组，ＳＣＳ接口引擎，其配置为向所述第一ＳＣＳ提供至少所述测试组，数据分析模块，其配置为提供计算机实现数据分析工具给用户，以分析在测试所述第一组件时取得的测试数据，将所述ＡＴＡＣ夹具与所述第一组件耦合，以使...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2006-8-3 11/462,325一种对配置为安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的方法，所述等离子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制，该方法包含提供ATAC(自动测试和特征化)夹具，所述ATAC夹具至少包括第一系统控制软件包(“第一SCS”)，其代表所述生产系统控制软件，数据管理器模块，其配置为通过计算机网络，从第一数据库中取得规范数据，测试管理器模块，其配置为利用所述第一SCS执行为测试所述组件设计的测试组，SCS接口引擎，其配置为向所述第一SCS提供至少所述测试组，数据分析模块，其配置为提供计算机实现数据分析工具给用户，以分析在测试所述第一组件时取得的测试数据，将所述ATAC夹具与所述第一组件耦合，以使所述ATAC夹具中的所述第一SCS能够利用该测试组和至少一部份所述规范数据对该第一组件进行测试，其中，熄掉测试所述第一组件时不存在的所述等离子工艺系统的缺失组件以模拟所述缺失组件，从而允许使用该第一SCS在模拟环境中对该第一组件进行测试，就像在测试该第一组件的时候该缺失组件是存在的一样。2. 根据权利要求1所述的方法，其中，该计算机网络代表因特网。3. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述规范数据代表销售商在测试与所述第一组 件类型相同的组件时使用的数据，而无论哪家所述销售商实际上对与所述第一组件类型相 同的组件进行所述测试。4. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述测试管理器模块被赋予了使用Web服务器访 问所述第一数据库的权限。5. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述规范数据是由所述等离子工艺系统的生产 商提供给所有销售商测试与所述第一组件类型相同的组件的，而无论哪家所述销售商实际 上对与所述第一组件类型相同的组件进行所述测试。6. 根据权利要求1所述的方法，其中，还包含使用所述数据管理器模块从对所述第一 组件的所述测试中取得测试结果，并通过因特网上传所述测试结果至第二数据库以进行后 续分析。7. 根据权利要求6所述的方法，其中，该测试结果以预先定义的格式存储，该格式对所 有的销售商测试的与该第一组件类型相同的组件都一致，而无论是哪家所述销售商实际上 对与所述第一组件类型相同的所述组件进行所述测试。8. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一SCS代表所述生产系统控制软件的精确 拷贝。9. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述数据分析模块进一步配置为监控所述测试 数据触发通知事件的条件。10. 根据权利要求9所述的方法，其中，所述数据分析模块还包括自动通知模块，其配 置为如果所述触发通知事件的条件满足，则发送通知。11. 一种配置为对安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的测试夹具，所述等离 子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制，所述测试夹具包含第一系统控制软件包(第一SCS)，其代表所述生产系统控制软件， 数据管理器模块，其配置为通过计算机网络，从第一数据库中取得规范数据，测试管理器模块，其配置为利用所述第一 SCS执行为测试所述组件设计的测试组， SCS接口引擎，其配置为向所述第一 SCS提供至少所述测试组，及...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾蒂娜派柳，保罗罗纳德巴林泰恩，许杰安，杰米萨米恩托，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]