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一种对配置为安装在等离子工艺系统中的组件进行测试的方法。该方法包括提供ＡＴＡＣ（自动测试和特征化）夹具，该夹具包括：系统控制软件包（ＳＣＳ），代表生产系统控制软件；数据管理器模块，配置为通过计算机网络从数据库中取得规范数据；测试管理器模块，...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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