【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种快速热处理装置的加热器单元,更具体地,涉及一种分离型加热 器单元。
技术介绍
快速热处理装置(RTP)的关键是在短时间内快速地将基板加热到所需的温度。快 速加热是在基板被均勻地加热的条件下执行的。已提出了用以均勻地加热基板的各种布置 加热灯的方式。然而,由于加热器单元是一体形成的,因此,实际上不能根据处理中的变化 来重新布置加热灯。此外,加热器单元消耗大量能量,并因此成为快速热处理装置的主要部件。然而, 由于加热器单元是一体形成的,如果加热器单元的部件由于热量或因其它原因所产生的故 障而被损坏,则不能简单地用新的部件来替换所述部件,由此导致许多维护和修理方面的 问题。使从加热灯射出的光转向基板以提高快速加热效率的挡板(barrier)被安装在 加热灯之间。这些挡板被用作次级间接热源,并因此导致基板加热不均勻。传统的快速热处理装置会导致下述问题,诸如,因加热器单元是一体形成的而导 致的难以维护和修理加热器单元,难以重新布置加热灯,以及因难以冷却而导致基板加热 不均勻。
技术实现思路
技术问题因此,考虑到上述问题而提出本专利技术,并且本专利技术的目的是提供一种快速热处理 装置的分离型加热器单元,所述分离型加热器单元易于维护和修理,便于重新布置加热灯, 并且被部分地冷却以避免基板加热不均勻。技术方案根据本专利技术的一个方面,上述和其它目的可以通过提供一种快速热处理装置的加 热器单元来实现,所述快速热处理装置的加热器单元包括灯罩,所述灯罩形成为平板形状 并且设置有多个插灯孔,加热灯分别插入所述插灯孔中;插座罩,加热灯的插座插入所述插 座罩中,所述插 ...
【技术保护点】
一种快速热处理装置的加热器单元,包括:灯罩,所述灯罩形成为平板形状,并且所述灯罩设置有多个插灯孔,加热灯分别插入所述插灯孔中;插座罩,所述加热灯的插座插入所述插座罩中,所述插座罩可分离地覆盖在所述灯罩上;以及反射器罩,所述反射器罩在与所述插灯孔相对应的位置设置有出光孔,所述反射器罩可分离地安装在所述灯罩的下面,从而使得所述加热灯的下端分别插入所述出光孔中,所述出光孔的侧壁用作挡板,其中,冷却水流过的冷却水槽穿过所述反射器罩的所述出光孔的侧壁形成。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】KR 2007-12-3 10-2007-0124435一种快速热处理装置的加热器单元,包括灯罩,所述灯罩形成为平板形状,并且所述灯罩设置有多个插灯孔,加热灯分别插入所述插灯孔中;插座罩,所述加热灯的插座插入所述插座罩中,所述插座罩可分离地覆盖在所述灯罩上;以及反射器罩,所述反射器罩在与所述插灯孔相对应的位置设置有出光孔,所述反射器罩可分离地安装在所述灯罩的下面,从而使得所述加热灯的下端分别插入所述出光孔中,所述出光孔的侧壁用作挡板,其中,冷...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈长禹,金昇龙,许俊,黄大天,
申请(专利权)人:AP系统股份有限公司,
类型:发明
国别省市:KR
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