具有输送带电极的EUV等离子体放电灯制造技术

本发明专利技术涉及用于通过电操作放电产生EUV辐射和/或软X射线的等 离子体放电灯。该所提出的灯包括至少两个电极，所述电极设置在放电 空间中，彼此相距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中 的等离子体(14)的点火的间隙。金属施加设备将金属施加到所述电极 的表面。这些电极由被驱动来将所述金属运送到所述间隙的输送带(15) 形成，其中对于这些电极中的每一个，在所述间隙处提供整形器元件 (13)以确保在该间隙处所述电极具有适当的形状和距离。能量束设备 (4)适于将能量束引导到所述间隙中的所述表面中的至少一个上，至 少部分地蒸发所述施加的金属，从而产生所述气体介质。利用所提出的 等离子体放电灯，可以以紧凑的灯设计实现高的输入功率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于通过电操作放电产生EUV辐射和/或软X射线的等 离子体放电灯，其包括至少两个电极，所述电极设置在放电空间中， 彼此相距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中的等离子 体的点火的间隙；用于将金属施加到所述放电空间中的所述电极的表面 的设备；以及能量束设备，其适于将能量束引导到所述间隙中的所述表 面中的至少一个上，至少部分地蒸发所述施加的金属，从而产生所述气 体介质。在EUV平版印刷术、显微术或计量学领域中需要用于产生EUV辐射 (EUV:极紫外)或软X射线的等离子体放电灯，所述EUV辐射或软X 射线即约lnm-20nm的波长区域中的辐射。对于大多数应用而言，所述灯 的高转换效率以及长的寿命是所希望的。
技术介绍
WO2005/025280A2中公开的EUV等离子体放电灯满足上述要求。该 文献的EUV灯包括两个电极轮，所述电极轮设置在放电空间中，彼此相 距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中的等离子体的点火 的间隙，这可以从图l中看出。电极轮l被可旋转地安装，并且部分地浸入 到包括液态金属(例如锡)的温控浴液(bath) 2中。电极轮l的材料允许 通本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于通过电操作放电产生ＥＵＶ辐射和／或软Ｘ射线的等离子体放电灯，包括：　－至少两个电极，所述电极设置在放电空间中，彼此相距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中的等离子体（１４）的点火的间隙，　－金属施加设备，其将金属施 加到所述电极的表面，　－所述电极由被驱动来将所述金属运送到所述间隙的输送带（１５）形成，　－其中对于这些电极中的每一个，在所述间隙处提供在其上移动输送带（１５）的整形器元件（１３）以确保在该间隙处所述电极具有适当的形状和距离，以 及　－能量束设备（４），其适于将能量束引导到所述间隙中的所述表面中的至少一个上，至少部分地蒸发所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2006.9.6 EP 06120170.3;2006.9.11 EP 06120419.41. 用于通过电操作放电产生EUV辐射和/或软X射线的等离子体放电灯，包括-至少两个电极，所述电极设置在放电空间中，彼此相距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中的等离子体(14)的点火的间隙，-金属施加设备，其将金属施加到所述电极的表面，-所述电极由被驱动来将所述金属运送到所述间隙的输送带(15)形成，-其中对于这些电极中的每一个，在所述间隙处提供在其上移动输送带(15)的整形器元件(13)以确保在该间隙处所述电极具有适当的形状和距离，以及-能量束设备(4)，其适于将能量束引导到所述间隙中的所述表面中的至少一个上，至少部分地蒸发所述施加的金属，从而产生所述气体介质。2. 依照权利要求1的等离子体放电灯，其中所述金属施加设备包括两个具有金属熔化物的容器(19),并 且每个所述电极浸入到所述容器(19)之一中以便将该金属熔化物施加 到所述电极的表面上。3. 依照权利要求2的等离子体放电灯，其中所述电极通过容器(19)中的所述金属熔化物电气连接到电源 (5)。4. 依照权利要求1或2的等离子体放电灯， 其中所述电极通过整形器元件(13)电气连接到电源(5)。5. 依照权利要求1或2的等离子体放电灯， 其中形成整形器元件(13)...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·琼克斯，J·W·内夫，R·普鲁默，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL