高压电连接线制造技术

本发明专利技术涉及一种特别用于把气体放电源（１０）电连接到高压电源（９）的高压电连接线（１１）。所述连接线由通过电绝缘层（１）分隔开的两个导电板（２）的层叠形成。在所述绝缘层（１）与所述导电板（２）之间设置导电层（８），所述导电层（８）的材料的电阻率高于所述导电板（２）的材料的电阻率。所提出的连接线在被用于连接高压电源与脉冲放电灯时可以提供更长的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种高压电连接线，其特别用于把气体放电源电连接到高压电源(例 如连接到电容器)，所述连接线由通过电绝缘层分隔开的两个导电板的层叠形成。
技术介绍
例如在EUV光刻或度量衡等领域内需要发出EUV辐射和/或软X射线的气体放电 源。例如在WO 2005/025280A2中公开的气体放电源包括至少两个电极，所述电极被设置 在放电空间内并且形成一个间隙，所述间隙允许点燃所述电极之间的气体介质内的等离子 体。对于这种放电灯的脉冲操作，可以通过一个电容器设置来提供所需的电能，首先将能量 存储在所述电容器设置中，随后通过所述电极放电。另一种可能性是通过一个脉冲压缩级 直接为所述电极提供电能。灯的效率在很大程度上依赖于所述电容器设置或脉冲压缩级与 所述等离子体的电匹配。在这种情境中，所述电容器设置或脉冲压缩级与放电灯之间的电 连接线非常重要。连接线的介电常数越低，所得到的电匹配就越好，并且从而使得所述灯具 有更高的峰值性能。放电灯的连接线的介电常数主要由该连接线的两条电导线之间的距离决定。已知 绝缘材料的绝缘属性在理论上允许非常小的距离。举例来说，聚酰亚胺材料Kapton 具 有40k本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种特别用于把气体放电源电连接到高压电源的高压电连接线，所述连接线（１１）由通过电绝缘层（１）分隔开的两个导电板（２）的层叠形成，其中，在所述绝缘层（１）与所述导电板（２）之间设置导电层（８），所述导电层（８）的材料的电阻率高于所述导电板（２）的材料的电阻率。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：DM沃德雷万格，JW尼夫，C梅茨马克，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]