用于气体放电源的电极设备以及操作具有电极设备的气体放电源的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于气体放电源的电极设备、包括这种电极设备的气体放电源以及操作该气体放电源的方法。电极设备包括可围绕旋转轴（３）旋转的电极轮（１）和擦拭器单元（１１），所述擦拭器单元（１１）被设置成在所述电极轮（１）的旋转期间限制被施加到该电极轮（１）的外圆周表面（１８）的至少一部分上的液体材料膜的厚度。擦拭器单元（１１）被设置并设计成在外圆周表面（１８）与擦拭器单元（１１）的擦拭边缘（１９）之间形成间隙（１７），并且在旋转期间抑制或者至少减少液体材料从侧表面到电极轮（１）的外圆周表面（１８）的转移。利用所提出的电极设备，电极轮（１）可以在更高的旋转速度下旋转而不会形成液滴，从而得到具有这种电极设备的气体放电源的更高的输出功率和脉冲频率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于气体放电源的电极设备，其至少包括可围绕旋转轴旋转的电极轮和擦拭器单元，所述电极轮具有处于两个侧表面之间的外圆周表面，所述擦拭器单元 被设置成在所述电极轮的旋转期间限制被施加到所述外圆周表面的至少一部分的液体材 料膜的厚度。本专利技术还涉及一种包括这种电极设备的气体放电源以及操作具有这种电极设 备的气体放电源的方法。
技术介绍
气体放电源例如被用作EUV辐射(EUV :超紫外)或软x射线的光源。在EUV光刻 领域内特别需要发射EUV辐射和/或软x射线的辐射源。辐射是从由脉冲电流产生的热等 离子体发射的。迄今为止所知的最强大的EUV辐射源利用金属蒸气操作以生成所需的等离 子体。在WO 2005/025280A2中示出了这种EUV辐射源的一个实例。在这种已知的辐射源 中，金属蒸气是从金属熔体(metal melt)产生的，所述金属熔体被施加到放电空间内的一 个表面上并且至少部分地被特别是激光束的能量束蒸发。在这种辐射源的一个优选实施例 中，两个电极被可旋转地安装，从而形成在辐射源的操作期间旋转的电极轮。电极轮在旋转 期间浸入到具有金属熔体的容器中。把脉冲激光束直接导本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于气体放电源的电极设备，其至少包括：可围绕旋转轴（３）旋转的电极轮（１），所述电极轮（１）具有处于两个侧表面（２６，２７）之间的外圆周表面（１８）；以及擦拭器单元（１１），其被设置成在所述电极轮（１）的旋转期间限制被施加到所述外圆周表面（１８）的至少一部分和所述侧表面（２６，２７）上的液体材料膜的厚度，其中，所述擦拭器单元（１１）被设置并设计成在所述外圆周表面（１８）与该擦拭器单元（１１）的擦拭边缘（１９）之间形成间隙（１７），并且在所述电极轮（１）的旋转期间抑制或者至少减少液体材料从所述侧表面（２６，２７）到所述外圆周表面（１８）的转移。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：U佐卡维茨，T克鲁肯，G德拉，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]