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本发明涉及用于通过电操作放电产生EUV辐射和/或软X射线的等 离子体放电灯。该所提出的灯包括至少两个电极，所述电极设置在放电 空间中，彼此相距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中 的等离子体(14)的点火的间隙。金属施加设备将金属...该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及用于通过电操作放电产生EUV辐射和/或软X射线的等 离子体放电灯。该所提出的灯包括至少两个电极，所述电极设置在放电 空间中，彼此相距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中 的等离子体(14)的点火的间隙。金属施加设备将金属...