【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅片冲洗装置，包括盒体、封闭空腔、气流通道及气源，盒体与气流通道相对的设置在封闭空腔上，所述盒体的开口端与所述气流通道的出气口相对，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置包括检测模块、控制模块，所述检测模块的输入端设置在所述盒体内，输出端与所述控制模块的输入端相连，所述控制模块的输出端与所述气源的控制设备相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：聂金根，
申请(专利权)人：镇江市港南电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。