一种高效硅片切割用的切削液制备方法技术

技术编号:11411196 阅读:88 留言:0更新日期:2015-05-06 10:50
一种高效硅片切割用的切削液制备方法,其特征在于,所述制备方法如下:(1)按重量份数称取原材料如下:由乙二醇52-60份、油酸三乙醇胺1-3份、阴离子活性剂5-8份、非离子表面活性3-5份、清洗缓蚀剂2-5份、极压抗磨剂2-4份和水24-30份;(2)筛选:分别将各固体原料通过振动筛进行筛选;(3)混合:按重量份取出油酸三乙醇胺、阴离子活性剂、非离子表面活性剂、清洗缓蚀剂和极压抗磨剂,并全部倒入混合机中混合,混合时间为5-15分钟,得混合料A;(4)搅拌:将混合料A与由乙二醇和水通过搅拌机搅拌,搅拌时间为25-35分钟,得切削液。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高效硅片切割用的切削液制备方法,其特征在于,其特征在于,所述制备方法如下:(1)按重量份数称取原材料如下:由乙二醇52‑60份、油酸三乙醇胺1‑3份、阴离子活性剂5‑8份、非离子表面活性3‑5份、清洗缓蚀剂2‑5份、极压抗磨剂2‑4份和水24‑30份;(2)筛选:分别将各固体原料通过振动筛进行筛选;(3)混合:按重量份取出油酸三乙醇胺、阴离子活性剂、非离子表面活性剂、清洗缓蚀剂和极压抗磨剂,并全部倒入混合机中混合,混合时间为5‑15分钟,得混合料A;(4)搅拌:将混合料A与由乙二醇和水通过搅拌机搅拌,搅拌时间为25‑35分钟,得切削液。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:聂金根
申请(专利权)人:镇江市港南电子有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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