基板搬送设备制造技术

本发明专利技术提供一种能够准确地进行基板移载装置对基板的移载的基板搬送设备。基板搬送设备包括容器、容器搬送装置以及位置调整机构，容器具备：容器主体，具有使基板出入的出入口和能以基板沿上下方向隔开间隔的状态收纳多张基板的基板收纳空间；载置支承部件，能够载置支承容器主体并且具有在载置支承有容器主体的状态下向基板收纳空间送出清洁空气的风机过滤机组，容器搬送装置以载置支承有容器主体的载置支承部件相对于支承台从上方载置支承的方式将容器搬送到支承台，位置调整机构通过在容器载置支承于支承台的状态下与容器主体直接抵接，将容器主体在水平方向的位置调整到用于由基板移载装置通过出入口移载基板的基板移载用位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基板搬送设备，其具有容器搬送装置和基板移载装置，所述容器 搬送装置用于将容器搬送到基板移载用的支承台，所述容器具有能够以基板沿上下方向隔 开间隔地排列的状态收纳多张基板的空间，所述基板移载装置用于相对于载置支承在支承 台上的容器，通过形成于容器侧部的出入口移载基板以便取出基板以及收纳基板。
技术介绍
这样的基板搬送设备在搬送用于液晶显示器或等离子显示器的玻璃基板等基板 的时候被使用。基板搬送设备构成为在利用容器搬送装置将收纳有多张基板的基板用收 纳容器搬送到支承台之后，利用基板移载装置从载置支承于支承台的基板用收纳容器取出 基板，或者利用基板移载装置将基板收纳到载置支承于支承台的基板用收纳容器中，然后， 利用容器搬送装置将收纳有多张基板的基板用收纳容器搬离支承台，从而对基板进行搬 送。并且，在将玻璃基板等要求高清洁度的基板收纳到基板用收纳容器中的情况下，使用了 这样的局部清洁技术设置向基板收纳空间中供给清洁空气的风机过滤机组(FFU)，从而 比外部提高了基板用收纳容器的内部的基板收纳空间的清洁度。这样的基板用收纳容器的现有示例记载于日本特开2008-094494号公报中。记载 于日本特开2008-094494号公报的基板用收纳容器由以下部分构成形成有出入口和基板 收纳空间的容器主体；装配有开闭出入口的盖的盖用框体；以及装配有向基板收纳空间供 给清洁空气的风机过滤机组的FFU用框体。另外，在容器主体的形成出入口的一端侧以能 分离的方式安装有盖用框体，在容器主体的另一端侧以能分离的方式安装有FFU用框体。 并且，在该现有示例中，支承台构成为以对形成基板用收纳容器的底部的容器主体进行载 置支承的方式对基板用收纳容器进行载置支承。容器搬送装置构成为以使容器主体相对 于支承台从上方载置支承的方式将基板用收纳容器搬送到支承台。另外，一般在基板搬送设备中，为了提高基板用收纳容器的收纳效率，将基板以基 板之间的间隔很窄的状态收纳到容器主体中。另外，玻璃基板等基板容易因与其他物品接 触而破损。因此，将基板用收纳容器移动到设定位置时的位置调整要求很高的精度。因此， 在日本特开2008-094494号公报的基板搬送设备中设置有定心装置，该定心装置通过在将 基板用收纳容器载置支承于支承台的状态下与基板用收纳容器抵接，来将基板用收纳容器 在水平方向的位置调整到用于由基板移载装置移载基板的设定位置。详细来说，日本特开2008-094494号公报的定心装置构成为通过与俯视呈矩形 形状的基板用收纳容器的下端部的四个角抵接，来调整基板用收纳容器在水平方向的位 置，由此将基板用收纳容器调整到设定位置。具体来说，盖用框体或者FFU用框体位于基板 用收纳容器的下端部的四个角。另外，定心装置构成为通过与FFU用框体或者盖用框体的 下端部抵接来调整基板用收纳容器在水平方向的位置，由此使基板用收纳容器位于设定位 置。专利文献1 日本特开2008-094494号公报3作为使容器主体能够分离的基板用收纳容器，本申请的申请人在日本特愿 2009-244754号中提出了一种基板用收纳容器，该基板用收纳容器由以下部分构成形成 有出入口和基板收纳空间的容器主体；以及载置支承该容器主体并且装配有风机过滤机组 的载置支承体。该基板用收纳容器通过载置支承部件来形成基板用收纳容器的底部，容器 主体相对于载置支承部件能够向上方分离，而且在使容器主体分离时，载置支承部件不易 翻到，容易使容器主体的分离自动化。由容器主体和载置支承部件构成的基板用收纳容器在水平方向的位置可以考虑 利用日本特开2008-094494号公报中的定心装置来进行调节，但是，定心装置是通过与基 板用收纳容器的下端部的四个角抵接来调整基板用收纳容器在水平方向的位置，由于载置 支承部件的四个角位于该基板用收纳容器的下端部的四个角，因此变成使定心装置与载置 支承部件的四个角抵接来将基板用收纳容器的位置调整到设定位置。但是，在由容器主体和载置支承部件构成基板用收纳容器的结构中，有时容器主 体会由于搬送过程中的振动等而相对于载置支承部件在水平方向偏移。因此，即使为了将 基板用收纳容器调节到设定位置而将载置支承部件调整到适当的位置，如果在载置支承部 件与容器主体之间在水平方向产生偏移，则容器主体的位置也会从基板移载装置移载基板 时的基板移载用位置在水平方向产生偏移。而且，若在容器主体的位置从基板移载用位置沿水平方向偏移了的状态下利用基 板移载装置来移载基板，则在取出收纳在容器主体中的基板的时候，基板移载装置相对于 作为取出对象的基板的位置偏移，从而可能无法准确地进行基板移载装置对基板的移载。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够准确地进行基板移载 装置对基板的移载的基板搬送设备。用于达成上述目的的本专利技术的基板搬送设备的特征结构在于，基板搬送设备包 括容器搬送装置，其用于将容器搬送至基板移载用的支承台，所述容器具有能够以 基板沿上下方向隔开间隔地排列的状态收纳多张基板的空间；以及基板移载装置，其相对于载置支承于所述支承台的所述容器，通过形成于所述容 器的侧部的出入口移载基板，以便取出基板和收纳基板而，所述容器构成为具有容器主体，其具有所述出入口和所述空间；以及载置支承 部件，其能够载置支承所述容器主体，并且具有在载置支承有所述容器主体的状态下向所 述空间送出清洁空气的风机过滤机组，所述容器搬送装置构成为以使载置支承有所述容器主体的所述载置支承部件相 对于所述支承台从上方载置支承的方式，将所述容器搬送到所述支承台，所述基板搬送设备具有位置调整机构，该位置调整机构通过在所述容器载置支承 于所述支承台的状态下与所述容器主体直接抵接，来将所述容器主体在水平方向的位置调 整到用于由所述基板移载装置移载基板的基板移载用位置。S卩，能够收纳基板的容器通过使容器主体相对于载置支承部件相对地上升，能够 使容器主体从载置支承部件分离。此外，由于载置支承部件在水平方向形成得较大以便载置支承容器主体，因此在使容器主体分离时载置支承部件不易翻倒。容器搬送装置构成为以使载置支承有容器主体的载置支承部件相对于支承台从 上方载置支承的方式，将容器搬送到支承台。并且，利用容器搬送装置将容器搬送至支承 台，支承台对容器的载置支承部件进行载置支承，并且位置调整机构通过直接与容器主体 抵接来将容器主体在水平方向的位置调整到基板移载用位置。这样，通过在能够收纳基板 的容器载置支承于支承台的状态下使位置调整机构直接与容器主体抵接，能够将容器主体 在水平方向的位置调整到基板移载用位置。即，在本特征结构中，不是调整载置支承于支承台的载置支承部件在水平方向的 位置，而是利用位置调整机构直接调整基板被基板移载装置进行移载的容器主体的位置。 由此，即使在容器主体与载置支承部件之间产生偏移，也能够将容器主体的位置调整到基 板移载用位置。因此，能够利用基板移载装置准确地进行基板的移载，由此能够提供利用基 板移载装置可准确地进行基板的移载的基板搬送设备。本专利技术的基板搬送设备的其他特征结构在于，所述位置调整机构构成为具有多 个嵌合体，其以从所述支承台向上方突出的状态设置于所述支承台；被嵌合部，其设置于所 述容器主体并向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬送设备，其包括：容器搬送装置，其用于将容器搬送至基板移载用的支承台，所述容器具有能够以基板沿上下方向隔开间隔地排列的状态收纳多张基板的空间；以及基板移载装置，其相对于载置支承于所述支承台的所述容器，通过形成于所述容器的侧部的出入口移载基板，以便取出基板和收纳基板，其特征在于，所述容器构成为具有：容器主体，其具有所述出入口和所述空间；以及载置支承部件，其能够载置支承所述容器主体，并且具有在载置支承有所述容器主体的状态下向所述空间送出清洁空气的风机过滤机组，所述容器搬送装置构成为：以使载置支承有所述容器主体的所述载置支承部件相对于所述支承台从上方载置支承的方式，将所述容器搬送到所述支承台，所述基板搬送设备具有位置调整机构，该位置调整机构通过在所述容器载置支承于所述支承台的状态下与所述容器主体直接抵接，来将所述容器主体在水平方向的位置调整到用于由所述基板移载装置移载基板的基板移载用位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中尾多通夫，出口喜隆，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：JP[]