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基板搬送设备制造技术
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文档序号:5340000
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本发明提供一种能够准确地进行基板移载装置对基板的移载的基板搬送设备。基板搬送设备包括容器、容器搬送装置以及位置调整机构,容器具备:容器主体,具有使基板出入的出入口和能以基板沿上下方向隔开间隔的状态收纳多张基板的基板收纳空间;载置支承部件,能...
该专利属于株式会社大福所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大福授权不得商用。
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