【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种四氯化硅氢化制三氯氢硅的催化剂的制备方法，属于化工技术领 域。
技术介绍
目前，国内外多晶硅的生产方法主要是西门子法，首先硅和氯化氢反应生成三氯 氢硅，三氯氢硅进一步反应生成多晶硅。其中每生产1吨的多晶硅，需要副产10吨的四氯 化硅，由于无合理的回收工艺，大部分的四氯化硅只有很少的一部分用来合成白炭黑，其余 的销售给化工部门或者是作为废料处理，使得三氯氢硅的收率偏低，造成了原材料的浪费， 严重的污染了环境。因此必须对四氯化硅进行回收利用，否则不能进行多晶硅的连续性规 模化生产。通过四氯化硅加氢氢化制三氯氢硅是一条重要的途径。目前主要是以硅藻土，氧 化铝为载体，镍或者铜为活性组分进行催化反应。通过控制一定的反应条件，使氢气、硅粉 和四氯化硅在沸腾的状态下进行接触反应。但是催化剂的活性普遍偏低，四氯化硅的转化 率只有15% 18%，所以原材料的消耗高，生产效率低，同时氧化铝作为载体容易进入后系 统中去，使得多晶硅的纯度降低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种，制 备的催化剂操作简单，稳定好，费用低，节省了大量成本，大大提高了四氯化硅氢化制三氯...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：路新龙，李世勤，舒兴田，高步良，程玉春，林民，张晓昕，孙晓明，
申请(专利权)人：山东齐鲁科力化工研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：37
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