【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种测量极小气体流量的装置和方法，特别涉及一种基于静态膨胀法 真空标准的测量极小气体流量的装置和方法。
技术介绍
在计量实验室中，大多采用高精度气体微流量计测量和提供已知气体流量。文献“李得天.德国联邦物理技术研究院(PTB)气体微流量计量评介.真空科学 与技术学报23 (4)，2003. ”介绍了目前处于国际最高水平的德国PTB的气体流量计。PTB研 制的气体流量计以三种不同的模式工作流量在(10-8 10-4)Pa.m3/s范围，用恒压法； 流量小于10-8Pa. m3/s时，用固定流导法；流量大于10_4Pa. m3/s时，用定容法。采用固定 流导法时，气体流量计的充入气体压力通常用电容薄膜规或磁悬浮转子规测量。磁悬浮转 子规的传递系数会随着时间、气体种类和温度的变化而变化，电容薄膜规在低压力下存在 热流逸效应，这些因素限制了压力的精确测量，从而成为影响流量精确测量的一个最大的 不确定度因素。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足之处，提供一种基于静态膨胀法真空标准的 极小气体流量测量装置和方法，避免用电容薄膜规或磁悬浮转子规测量压...
【技术保护点】
一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量装置，包括前级压力测量系统（１）、阀门一（２）、气体压力衰减系统（３）、阀门二（４）、校准室（５）、阀门三（６）、小孔（７）、阀门四（８）、阀门五（９）、吸气剂泵（１０）、阀门六（１１）、分子泵（１２）、前级泵（１３）及电离规（１４），其特征在于：前级压力测量系统（１）通过阀门一（２）与气体压力衰减系统（３）连接，气体压力衰减系统（３）通过阀门二（４）与校准室（５）连接，小孔（７）与阀门四（８）并联后一端通过阀门三（６）和校准室（５）相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵（１０）通过阀门五（９）和校准室（５）相连，前级泵（１３）和分子...
【技术特征摘要】
1.一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量装置，包括前级压力测量系统 (1)、阀门一 (2)、气体压力衰减系统(3)、阀门二 (4)、校准室(5)、阀门三(6)、小孔(7)、 阀门四(8)、阀门五(9)、吸气剂泵(10)、阀门六(11)、分子泵(12)、前级泵(13)及电离规 (14)，其特征在于前级压力测量系统(1)通过阀门一(2)与气体压力衰减系统(3)连接， 气体压力衰减系统(3)通过阀门二⑷与校准室(5)连接，小孔(7)与阀门四⑶并联后 一端通过阀门三(6)和校准室(5)相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵(10)通过阀门五 (9)和校准室(5)相连，前级泵(13)和分子泵(12)串连后通过阀门六(11)和校准室(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：李得天，成永军，冯焱，徐婕，郭美如，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所，
类型：发明
国别省市：62[中国|甘肃]
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