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本发明涉及一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量装置，包括前级压力测量系统、阀门一、气体压力衰减系统、阀门二、校准室、阀门三、小孔、阀门四、阀门五、吸气剂泵、阀门六、分子泵、前级泵及电离规组成，前级压力测量系统通过阀门一与气体压力衰减...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所授权不得商用。