一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量方法技术

本发明专利技术涉及一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量方法，包括以下步骤：（１）对校准室及连接真空管道抽气；（２）对装置整体进行烘烤除气；（３）控制校准室内达到１０－９Ｐａ数量级的极限真空；（４）使校准室内的压力缓慢上升；（５）给静态膨胀法真空标准的前级充入一定压力的高纯气体；（６）将校准室内的气体通过小孔引入到真空系统中；（７）根据小孔的流导和气体压力衰减系统内的压力得到气体流量。本发明专利技术所述方法用静态膨胀法真空标准产生的气体压力代替固定流导法气体流量计的充入气体压力，这样避免用电容薄膜规或磁悬浮转子规测量压力，从而进一步提高气体流量的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种测量极小气体流量的装置和方法，特别涉及一种基于静态膨胀法 真空标准的测量极小气体流量的装置和方法。
技术介绍
在计量实验室中，大多采用高精度气体微流量计测量和提供已知气体流量。文献“李得天.德国联邦物理技术研究院(PTB)气体微流量计量评介.真空科学 与技术学报23 (4)，2003. ”介绍了目前处于国际最高水平的德国PTB的气体流量计。PTB研 制的气体流量计以三种不同的模式工作流量在(10-8 10-4)Pa.m3/s范围，用恒压法； 流量小于10-8Pa. m3/s时，用固定流导法；流量大于10_4Pa. m3/s时，用定容法。采用固定 流导法时，气体流量计的充入气体压力通常用电容薄膜规或磁悬浮转子规测量。磁悬浮转 子规的传递系数会随着时间、气体种类和温度的变化而变化，电容薄膜规在低压力下存在 热流逸效应，这些因素限制了压力的精确测量，从而成为影响流量精确测量的一个最大的 不确定度因素。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足之处，提供一种基于静态膨胀法真空标准的 极小气体流量测量装置和方法，避免用电容薄膜规或磁悬浮转子规测量压力，从而进一步 提高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量方法，包括以下步骤：（１）打开阀门三（６）、阀门四（８）、阀门六（１１），依次启动前级泵（１３）和分子泵（１２），对校准室（５）及连接真空管道抽气；（２）对装置整体进行烘烤除气，烘烤温度以匀速率分别升至最高点后，保持６０～８０ｈ；（３）在烘烤最高温度保持期间，打开吸气剂泵（１０）的连接阀门（９），对吸气剂泵（１０）进行激活，激活２～４ｈ后停止，关闭吸气剂泵连接阀门，然后再以匀速率逐渐降至室温，当温度恢复至室温后，再打开吸气剂泵连接阀门，继续抽气２４～４８ｈ，直至校准室（５）内达到１０－９Ｐａ数量级的极限真空；（４）关闭阀门三（６）、阀门六（１１），此...

【技术特征摘要】
一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量方法，包括以下步骤(1)打开阀门三(6)、阀门四(8)、阀门六(11)，依次启动前级泵(13)和分子泵(12)，对校准室(5)及连接真空管道抽气；(2)对装置整体进行烘烤除气，烘烤温度以匀速率分别升至最高点后，保持60～80h；(3)在烘烤最高温度保持期间，打开吸气剂泵(10)的连接阀门(9)，对吸气剂泵(10)进行激活，激活2～4h后停止，关闭吸气剂泵连接阀门，然后再以匀速率逐渐降至室温，当温度恢复至室温后，再打开吸气剂泵连接阀门，继续抽气24～48h，直至校准室(5)内达到10 9Pa数量级的极限真空；(4)关闭阀门三(6)、阀门六(11)，此时校准室(5)内的压力开始缓慢上升，一段时间后压力达到...

【专利技术属性】
技术研发人员：李得天，成永军，冯焱，徐婕，郭美如，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所，
类型：发明
国别省市：62[中国|甘肃]