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本发明涉及一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量方法，包括以下步骤：（１）对校准室及连接真空管道抽气；（２）对装置整体进行烘烤除气；（３）控制校准室内达到１０－９Ｐａ数量级的极限真空；（４）使校准室内的压力缓慢上升；（５）给静态膨胀法...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所授权不得商用。