【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种筒式单晶炉的石墨热场，用于拉制单晶硅棒。
技术介绍
目前，在直拉单晶硅棒生产过程中，我们使用的单晶炉的石墨热场采用直筒式设计，即保温筒的上、中、下三部分，与炉底护盘的大小都相一致。这种单晶炉热量散发快，耗 能大，且保温筒内的温度梯度不是很理想，在气体流通方面也感觉不畅，不利于清除杂质， 易产生次品。
技术实现思路
本技术的目的是提供炉内温度梯度理想，且有利于气体流通，清除杂质，提高 产品质量的一种筒式单晶炉的石墨热场。本技术采取的技术方案是一种筒式单晶炉的石墨热场，包括保温筒、导流 筒、加热器、石墨坩埚、石英坩埚、炉底护盘；石英坩埚和石墨坩埚位于加热器内；保温筒位 于加热器外，且设置在炉底护盘上；导流筒位于石英坩埚和石墨坩埚之上，以及保温筒内； 其特征在于将保温筒分成上、中、下三层，且上、中、下三层呈塔形，即上层最小，中层其次， 下层最大。所述的炉底护盘大于保温筒的下层。采用本技术，由于相对缩小了保温筒的上层空间，可增强保温效果，有利于节 能，在上、中层之间形成理想的温度梯度，而且相对扩展了下层的空间，使气流畅通，利于清 除杂质，因此能提高产品质量；...
【技术保护点】
一种筒式单晶炉的石墨热场，包括保温筒、导流筒、加热器、石墨坩埚、石英坩埚、炉底护盘；石英坩埚和石墨坩埚位于加热器内；保温筒位于加热器外，且设置在炉底护盘上；导流筒位于石英坩埚和石墨坩埚之上，以及保温筒内；其特征在于该保温筒分上、中、下三层，且上、中、下三层呈塔形，即上层最小，中层其次，下层最大。
【技术特征摘要】
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