【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉
,尤其是一种在现有80炉内设计使用20寸热场 增加单炉投料量的单晶炉热场。
技术介绍
目前,单晶80炉内一般使用的是18寸的热场,热场内的三瓣埚内径尺寸一般为 457mm,最大装料量单晶炉一次55kg。而随着生产水平的提高,对生产设备的需求也在不断 加大,所以现有的单晶80炉不仅容量不能满足生产需求,而且生产成本高,不能灵活地适 应市场需求
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是为了克服现有单晶80炉容量不大、适应性差的 技术问题,本技术提供一种单晶炉热场。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种单晶炉热场,包括设置在 单晶炉炉体内壁处的保温筒,保温筒内圈设有加热器,加热器的内腔设置有由埚杆支撑的 三瓣埚,三瓣埚与埚杆之间安装有贴于三瓣埚底的埚托,加热器的底部通过电极螺栓固定 在炉体的底盘上,炉体内腔上部设有倒梯形的导流筒,所述的导流筒分为内导流筒与外导 流筒,内导流筒的锥度为0. 52 0. 63,外导流筒的锥度为0. 16 0. 23,扩大了导流筒中间 的保温层,可以降低功率,提高拉速,三瓣埚的内径为500mm 510mm,提高了三瓣埚的最大 投料量。为了使单晶炉热场容量更大,加热器的外径与保温筒的内径配合,三瓣埚的外径 与加热器的内径配合。为了更好的提高保温效果,保温筒上还设置有保温罩。本技术的有益效果是,本技术一方面增加了单晶炉的投料量,将最大装 料量从55kg提高到75kg,降低了成本;另一方面本技术可以拉制8寸晶棒可以灵活的 适应市场的变化,而且保温性能好。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。附图说明图1是本技术单晶炉 ...
【技术保护点】
一种单晶炉热场,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒(1),保温筒(1)内圈设有加热器(2),加热器(2)的内腔设置有由埚杆(4)支撑的三瓣埚(3),三瓣埚(3)与埚杆(4)之间安装有贴于三瓣埚(3)底的埚托(3-1),加热器(2)的底部通过电极螺栓固定在炉体的底盘上,炉体内腔上部设有倒梯形的导流筒,所述的导流筒分为内导流筒(5)与外导流筒(6),其特征在于:内导流筒(5)的锥度为0.52~0.63,外导流筒(6)的锥度为0.16~0.23,所述的三瓣埚(3)的内径为500mm~510mm。
【技术特征摘要】
一种单晶炉热场,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒(1),保温筒(1)内圈设有加热器(2),加热器(2)的内腔设置有由埚杆(4)支撑的三瓣埚(3),三瓣埚(3)与埚杆(4)之间安装有贴于三瓣埚(3)底的埚托(3-1),加热器(2)的底部通过电极螺栓固定在炉体的底盘上,炉体内腔上部设有倒梯形的导流筒,所述的导流筒分为内导流筒(5)与外导流筒(6),其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨晓忠,王伟,孙崇良,戴秋平,
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]
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