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一种筒式单晶炉的石墨热场制造技术
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文档序号:5052990
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本实用新型涉及一种筒式单晶炉的石墨热场,用于拉制单晶硅棒,其保温筒位于加热器外,分成上、中、下三层,上、中、下三层呈塔形,且下层设置在炉底护盘上;石英坩埚和石墨坩埚位于加热器内;导流筒位于石英坩埚和石墨坩埚之上,以及保温筒内;采用本实用新型...
该专利属于方汉春所有,仅供学习研究参考,未经过方汉春授权不得商用。
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