液晶显示装置及该液晶显示装置的阵列基板的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种液晶显示装置及该液晶显示装置的阵列基板的制造方法。该液晶显示装置包括一基板，该基板的表面形成有多个阵列排布的像素单元，每一像素单元包括反射区，该反射区中设置无机绝缘层，并且该无机绝缘层的靠近该液晶显示装置的液晶层一侧的表面上形成多个表面呈曲面的凸起。本发明专利技术的液晶显示装置能够增加开口率以提高显示特性，并且制造成本低、反射率高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
液晶显示装置因具有体积小、低辐射、低耗电等特性而被广泛应用在移动电话、个 人数字助理、笔记本电脑、个人计算机和电视领域。出于控制背光功率和户外显示特性的考 虑，很多液晶显示装置的显示屏都采用了反射模式，利用反射区域反射外界光来实现补偿 亮度的效果，因此，反射率和反射视角都是技术上需要考虑的部分。通常，液晶显示装置的 显示屏的反射模式包括半反半透模式和全反射模式。一般的，半反半透的液晶显示装置根据液晶层结构分为两大类，单盒厚结构和双 盒厚结构。双盒结构的液晶显示装置的穿透区和反射区有不同的盒厚来补偿光程差，因此， 具有高的透过率和反射率。单盒结构的液晶显示装置的穿透区和反射区有着相同的厚度。为了增加液晶显示装置的显示屏反射区域的反射率和反射视角，通常在该反射区 域设置凸起(Bump)。现有技术中，该凸起是采用具有高感光特性、低介电常数的有机膜材 料，利用光刻使其形成众多凸起状图型，再通过加温烘烤使有机膜图型受热后塌下形成拱 形凸起结构，最后在上面溅射金属形成反射膜，完成反射区域。该方法使得该凸起表面光滑 以增加反射率，同时由于该凸起可以使入射光向各个方向散射，可以得到比较好的反射视 角。采用上述方法形成的双盒厚结构的液晶显示装置，由于有机膜烘塌后形成缓坡， 双盒厚交界处有较大的过渡区域，该处盒厚过渡变化必须用反射金属或者BM遮挡，浪费了 部分开口率影响了显示特性。且由于有机膜具有高的光学透过性、低介电常数以及良好的 成膜均勻性等特点，其价格很高，不利于降低该液晶显示装置的制作成本。该有机膜在加热 坍塌后尺寸偏大，进而形成的凸起的尺寸较大，如果增加凸起的密度，烘塌后相邻凸起连接 在一起形成片，导致整个反射区域内凸起密度的下降，从而降低了该液晶显示装置的反射 率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够增加开口率以提高显示特性，并且制造成本低、 反射率高的液晶显示装置。本专利技术还提供一种上述液晶显示装置的阵列基板的制造方法。一种液晶显示装置，包括一基板，该基板的表面形成有多个阵列排布的像素单元， 每一像素单元包括反射区，该反射区中设置无机绝缘层，并且该无机绝缘层的靠近该液晶 显示装置的液晶层一侧的表面上形成多个表面呈曲面的凸起。本专利技术的一种优选技术方案，该无机绝缘材料是氮化硅或氧化硅。本专利技术的一种优选技术方案，该液晶显示装置在反射区还包括覆盖该无机绝缘层 的反射层。3本专利技术的一种优选技术方案，每一像素单元还包括穿透区，并且该液晶显示装置 还包括透明电极层，该透明电极设置于该反射层和该穿透区的表面。本专利技术的一种优选技术方案，该反射区设置有薄膜晶体管，该无机绝缘层覆盖该 薄膜晶体管，该薄膜晶体管包括漏极，该无机绝缘层包括接触孔，该透明电极层通过该接触 孔与该薄膜晶体管的漏极连接。本专利技术的一种优选技术方案，所述液晶显示装置为双盒厚结构。一种液晶显示装置的阵列基板的制造方法，包括如下步骤提供一基板，该基板包 括反射区，在该基板的反射区形成薄膜晶体管；在该反射区和该薄膜晶体管的表面覆盖无 机绝缘层；在该反射区的无机绝缘层的表面需要形成凸起的位置覆盖光阻；向该无机绝缘 层提供刻蚀气体，并进行刻蚀，以使该无机绝缘层覆盖有该光阻的部分形成表面呈曲面的 凸起。本专利技术的一种优选技术方案，该基板还包括穿透区，该液晶显示装置的制造方法 还包括该无机绝缘层覆盖该光阻的部分形成表面呈曲面的凸起后，在该无机绝缘层的表 面和该基板的穿透区表面沉积透明电极层。本专利技术的一种优选技术方案，该液晶显示装置的制造方法还包括该无机绝缘层 的表面和该基板的穿透区表面沉积透明电极层后，在该无机绝缘层表面的透明电极层表面 沉积反射层。本专利技术的一种优选技术方案，该液晶显示装置还包括液晶层，该液晶层为双盒厚 结构。本专利技术的一种优选技术方案，该无机绝缘层的材料是氮化硅或氧化硅。本专利技术的一种优选技术方案，刻蚀气体为六氟化硫和氧气，并且氧气与六氟化硫 的流量比在3-10之间。本专利技术的一种优选技术方案，刻蚀功率密度为0. 4-0. 6瓦/平方厘米，刻蚀压力为 30-60mTo本专利技术的一种优选技术方案，刻蚀功率为3000瓦，六氟化硫和氧气的流量分别为 300sccm 禾口 lOOOsccm，刻蚀压力为 50mT。与现有技术相比，本专利技术的液晶显示装置的液晶层的双盒厚结构由干刻无机绝缘 材料形成，因此，可以有效控制该液晶显示装置的双盒厚过渡区域的长度，从而增加开口 率，有效提高该液晶显示装置的显示特性。本专利技术的液晶显示装置反射区的凸起通过干刻 无机绝缘材料形成，液晶显示装置的制造成本低、反射率高。附图说明图1是本专利技术液晶显示装置的单个像素区域的截面结构示意图。图2至图6是本专利技术较佳实施方式的液晶显示装置的阵列基板的制造方法的各步 骤示意图。具体实施例方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本专利技术作进一步 的详细描述。本专利技术的液晶显示装置包括一基板，该基板的表面形成有多个阵列排布的像素单 元，每一像素单元包括反射区，该反射区设置有薄膜晶体管，该反射区和该薄膜晶体管的表 面设置无机绝缘层，该无机绝缘层的表面拱起形成多个表面呈曲面的凸起。下面结合图1，详细说明本专利技术的液晶显示装置的具体结构。图1是本专利技术液晶显 示装置的单个像素区域的截面结构示意图。该液晶显示装置10是一半反半透液晶显示装 置，该液晶显示装置10包括第一基板11、与该第一基板11相对且平行设置的第二基板12、 设置于该第一、第二基板11、12之间的液晶层(未图示)。在本专利技术中，该液晶显示装置10 为双盒厚结构，该第一基板11为彩色滤光片基板，该第二基板12为阵列基板。该第二基板12的表面形成有多个阵列排布的像素单元，每一像素单元划分为反 射区13和穿透区14。该反射区13设置有薄膜晶体管，该薄膜晶体管包括依次设置于该第 二基板12上的栅极131，栅极绝缘层132、半导体层133、源极134和漏极130。该反射区13、该薄膜晶体管和该穿透区14的表面覆盖有无机绝缘层135，该无机 绝缘层135的表面拱起形成多个表面呈曲面的凸起136。该液晶显示装置10的该无机绝缘 层135的表面和该穿透区14覆盖有透明电极层137。该无机绝缘层135表面的透明电极层 137的表面覆盖有反射层138。该无机绝缘层135设置有接触孔139，该透明电极层137通 过该接触孔139与该薄膜晶体管的漏极130连接。优选的，该无机绝缘层135的材质为氮 化硅或氧化硅。该透明电极层137为ITO层。该反射层138的材质为铝或银。请一并参阅图1至图6，其中，图2至图6是本专利技术较佳实施方式的液晶显示装置 10的制造方法的各步骤示意图。本专利技术的液晶显示装置的制造方法，主要包括如下步骤 提供一基板，在该基板的反射区13形成薄膜晶体管；在该反射区13的无机绝缘层135上需 要形成凸起136的位置覆盖光阻15 ；向该无机绝缘层135提供刻蚀气体16，去除该光阻15， 以使该无机绝缘层135覆盖有该光阻15的部分形成表面呈曲面的凸起136，该液晶显示装 置10形成双盒厚结构。下面结合各个附图，详细说明该液晶显示装置10的制造方法的各个步骤提供一基板，在该基板的反射区13形成薄膜晶体管，在该反射区1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶显示装置，包括一基板，该基板的表面形成有多个阵列排布的像素单元，每一像素单元包括反射区，其特征在于：该反射区中设置无机绝缘层，并且该无机绝缘层的靠近该液晶显示装置的液晶层一侧的表面上形成多个表面呈曲面的凸起。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马骏，黄长虹，吴勇，凌志华，
申请(专利权)人：上海天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]