【技术实现步骤摘要】
本技术涉及LED芯片的光刻版，属于LED芯片制造
技术介绍
LED外延片由于在生长过程中总是存在一定的不均匀性，常见的是中心区域的性 能好，边缘区域较差，而目前在LED芯片制作中使用的光刻版内只有一种单元规格。由于材 料的原因，使得制作出来的中心区域与边缘区域的LED芯片在性能方面存在较大的差距， 要縮小差距，保证品质，只能剔除边缘区域的芯片。
技术实现思路
本技术的目的是，为了提高了LED外延片材料的利用率，在同一片LED外延片 上根据材料的特性实现制作尺寸和电极图形不同的LED芯片。 本技术是通过以下技术方案实现 本技术推出了一种新的应用于LED芯片制作的光刻版在制版前对数据进行 处理，在光刻版的中心设置一为边长为1.5英寸的正方形方框标记。在方框标记的内部规 则排布单元尺寸为250X250um2，电极图形直径为llOum园的图案；在方框标记的外部规则 排布单元尺寸为204X204um2，电极图形直径为90um的园的图案。 本技术与现有技术相比较的有益效果是，本光刻版可实现在同一片LED外延 片上根据外延片材料的特性制作尺寸和电极图形不同的LED芯片，在完成芯片图形制作后 可将方框的标记对外延片进行切割，使得外延片中心区域的芯片和边缘区域的芯片分成两 个档次，满足不同的需求，大大提高了材料利用率。附图说明附图为本技术光刻版平面示意图 图中尺寸单位为英寸，整个版的尺寸为4英寸x4英寸。 图中方框表示标记所在的位置也是在芯片图形制作完成后的切割位置，标记整体 上处于光刻版的中间，标记方框尺寸为1. 5英寸xl. 5英寸。具体实施方式光刻版的整体尺...
【技术保护点】
一种应用于ＬＥＤ芯片制作的光刻版，其特征在于，所述光刻版规格为４×４平方英寸，在所述光刻版的中心设有为边长为１．５英寸的正方形方框标记。
【技术特征摘要】
一种应用于LED芯片制作的光刻版，其特征在于，所述光刻版规格为4×4平方英寸，在所述光刻版的中心设有为边长为1.5英寸的正方形方框标记。2. 根据权利要求1所述的一种应用于LED芯片制...
【专利技术属性】
技术研发人员：万金平，龚振，任强，
申请(专利权)人：南昌欣磊光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：36[中国|江西]
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