下载一种应用于LED芯片制作的光刻版的技术资料

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一种应用于LED芯片制作的光刻版,属于LED芯片制造技术领域。所述光刻版规格为4×4平方英寸,在光刻版的中心设有一边长为1.5平方英寸的正方形方框标记,在正方形标记的内部和外部区域有两种不同的芯片尺寸和电极图形。本光刻版可实现在同一片LED...
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