一种应用于液相外延晶片的固定装置制造方法及图纸

一种应用于液相外延晶片的固定装置，其特征是带有规则排布齿印的晶片夹板上有若干个对称分布的定位孔，螺栓穿过定位孔配合螺母固定连接两块晶片夹板，形成一个上下两层有晶片夹板的框架，其中单晶片放置晶片夹板内部的卡位中。本实用新型专利技术的技术效果是：１．适用性强，可通过调整晶片夹板的位置以适应不同大小的晶片。２．加强溶质的泄出以防止粘附于晶片表面，使产品更加美观；３．利于高温下溶液的对流运动，保证了生长过程中温场及掺杂的均匀性。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种固定装置，尤其涉及一种应用于液相外延晶片的固定 装置。
技术介绍
液相外延技术是将晶片浸渍于饱和溶液中，通过降温来降低溶液的溶解度，使释出的杂质在晶片衬底表面上生长外延层的一种技术，如GaAs外延层可从 以Ga为溶剂，GaAs为溶质的饱和溶液中生长出来。液相外延技术具有生长设 备简单，外延缺陷少，掺杂选择范围广，生长过程及废弃物无毒、安全等优点， 在发光二极管、激光二极管、太阳能电池、微波器件等材料领域占有重要位置。 目前此一技术己广泛应用于GaAs、 GaAlAs、 GaP、 InP、 GaAsP等半导体材料 的生长。应用于液相外延生长晶片固定装置常面临以下几个方面的难题1、 晶片固定装置如何适应生产中因损耗、切割、打磨等因素而产生的晶片大小变 化；2、如何更好地排出液相外延在完成生长后释出的溶质，以防止此释出的 溶质粘附于晶片表面，影响产品外观；3、装置如何在高温下保证溶液的对流 运动以便实现生长过程中中温场及掺杂的均匀分布。
技术实现思路
本技术的目的在于提供了一种应用于液相外延晶片的固定装置，该装 置应用于大规模液相外延工艺生产的晶片夹具，提高晶片夹具的适用性，改善 产品外观，解决液相外延过程中的掺杂、温场不均问题。本技术是这样来实现的，它包括晶片夹板、定位孔、螺栓、螺母，其 特征是带有规则排布齿印的晶片夹板上有若干个对称分布的定位孔，螺栓穿过定位孔配合螺母固定连接两块晶片夹板形成一个上下两层有晶片夹板的框架。所揭示的液相外延晶片固定装置中的内部空间可通过调整晶片夹板在固定螺栓上的位置结构而进行调整，以便适应不同大小的晶片。另外，本技术的六个外表面均为敞开式的，有利于外延生长完成后释出溶质的泄出，减少溶液在晶片表面的残留，对提高晶片表面外观具有明显改善。其次，装置的结构可减少高温下对溶液对流运动的抑制作用，有利于溶液内部温场的平衡及掺杂的均匀分布。本装置结构简单，造价低廉，安装方便，使用可靠，可应用于大规模液相外延生产。本技术所述的晶片夹板，其特征在于晶片夹板在固定螺栓上的位置根据晶片大小进行上下微调。本技术的技术效果是1、适用性强，可通过调整晶片夹板的位置以适应不同大小的晶片；2、加强溶质的泄出以防止粘附于晶片表面，使产品更加美观；3、利于高温下溶液的对流运动，保证了生长过程中温场及掺杂的均匀性。附图说明图1为本技术的结构示意图。在图中，1、晶片夹板2、定位孔3、螺栓4、螺母具体实施方式如图1所示，本技术是这样来实现的，它包括晶片夹板l、定位孔2、螺栓3、螺母4，其特征是带有规则排布齿印的晶片夹板1上有若干个对称分布的定位孔2,螺栓3穿过定位孔配合螺母4固定连接两块晶片夹板1形成一个上下两层有晶片夹板1的框架。所揭示的液相外延晶片固定装置中的内部空间可通过调整晶片夹板在固定螺栓上的位置结构而进行调整，以便适应不同大小的晶片。另外，本技术的六个外表面均为敞开式的，有利于外延生长完成后释出溶质的泄出，减少溶液在晶片表面的残留，对提高晶片表面外观具有明显改善。其次，方舟的结构可减少高温下对溶液对流运动的抑制作用，有利于溶液内部温场的平衡及掺杂的均匀分布。本技术结构简单，造价低廉，安装方便，使用可靠，可应用于大规模液相外延生产。晶片直径为52mm，首先将固定螺栓、螺母通过晶片夹板中定位孔将晶片夹板进行固定在螺栓下端，然后将晶片按序放置在晶片夹板的卡位内部，每一卡位放置背向相对晶片两片，然后将另一晶片夹板通过螺栓、螺母固定在螺栓的中间部分，通过调整晶片夹板的位置使晶片完全卡在两层晶片夹板的卡位内。将固定螺栓的上端通过定位孔用固定螺丝固定在可上下运动的石墨板上。权利要求1、一种应用于液相外延晶片的固定装置，它包括晶片夹板、定位孔、螺栓、螺母，其特征是带有规则排布齿印的晶片夹板上有若干个对称分布的定位孔，螺栓穿过定位孔配合螺母固定连接两块晶片夹板形成一个上下两层有晶片夹板的框架。2、 根据权利要求l所述的一种应用于液相外延的晶片固定装置，其特征 在于晶片夹板在固定螺栓上的位置根据晶片大小进行上下微调。专利摘要一种应用于液相外延晶片的固定装置，其特征是带有规则排布齿印的晶片夹板上有若干个对称分布的定位孔，螺栓穿过定位孔配合螺母固定连接两块晶片夹板，形成一个上下两层有晶片夹板的框架，其中单晶片放置晶片夹板内部的卡位中。本技术的技术效果是1.适用性强，可通过调整晶片夹板的位置以适应不同大小的晶片。2.加强溶质的泄出以防止粘附于晶片表面，使产品更加美观；3.利于高温下溶液的对流运动，保证了生长过程中温场及掺杂的均匀性。文档编号C30B19/00GK201317829SQ200820199688公开日2009年9月30日 申请日期2008年12月26日 优先权日2008年12月26日专利技术者万金平, 何民华, 叶建青, 力 周 申请人:南昌欣磊光电科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于液相外延晶片的固定装置，它包括晶片夹板、定位孔、螺栓、螺母，其特征是带有规则排布齿印的晶片夹板上有若干个对称分布的定位孔，螺栓穿过定位孔配合螺母固定连接两块晶片夹板形成一个上下两层有晶片夹板的框架。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶建青，何民华，周力，万金平，
申请(专利权)人：南昌欣磊光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：36[中国|江西]