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一种应用于液相外延晶片的固定装置，其特征是带有规则排布齿印的晶片夹板上有若干个对称分布的定位孔，螺栓穿过定位孔配合螺母固定连接两块晶片夹板，形成一个上下两层有晶片夹板的框架，其中单晶片放置晶片夹板内部的卡位中。本实用新型的技术效果是：１．适...
该专利属于南昌欣磊光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南昌欣磊光电科技有限公司授权不得商用。

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