【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利公开了一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架，该样品架采用多边形结构，底部设置用于上下搅拌的托板，通过在母液中旋转和上下运动实现母液的均匀化；样品架的主体采用高纯石墨制作，表面由石英垫片和氮化硼底部托板覆盖，能有效防止石墨材料产生碎屑并沾污母液；采用石英垫片还能有效地防止母液对衬底背面的粘附。所专利技术的样品架用于材料生长时，样品架对衬底进行固定的机构不浸入母液，在不经过高温烘烤条件下，外延后能对衬底或外延片进行装卸，且母液在外延材料边缘残留的尺寸小，能够满足浸渍式碲镉汞液相外延材料批量化生产的需求。【专利说明】用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架
本专利涉及一种碲镉汞液相外延用的样品架,具体涉及一种用于浸溃式碲镉汞液相外延的样品架，它适用于批量制备締镉萊外延材料。
技术介绍
碲镉汞红外材料和器件已经历50多年的发展历史，先后已完成了单元或多元光导器件和单色红外焦平面器件两代红外探测器的研究和生产，进入2000年以后，碲镉汞材料和器件又跨入以超高集成度、多色、甚长波和单光子探测为特征的第三代红外焦平面技术新时代，近年来为满足应用的需求，新技术又...
【技术保护点】
一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架，包括样品架主体（1）、底部搅拌托板（4）和衬底（8）的固定装置，其特征在于：所述的样品架主体（1）是由高纯石墨制成的长方体或三角形柱体结构，上部中心位置有一个用于设备连接的带内螺纹接头的圆柱；样品架通过螺纹与液相外延系统的拉杆相连接，测量坩埚内母液温度的热电偶通过这一带内螺纹的深孔放置到与样品等高度的位置；外延用的衬底（8）安装在长方体或三角形柱体的每个侧面，每个侧面上衬底（8）的固定装置结构是相同的；所述的衬底（8）的固定装置包括底部固定压片（2）和上部固定压片（3），底部固定压片（2）采用石英材料，通过下压片螺丝（7）固定在样品架主...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨建荣，魏彦锋，孙瑞贇，孙权志，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：新型
国别省市：上海;31
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