【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种,属于多晶硅生产领域。
技术介绍
改良西门子法是目前国内外生产多晶硅的主流方法,该方法采用三氯氢硅还原生 产多晶硅。但使用三氯氢硅还原生产多晶硅的同时会产生大量的副产物-四氯化硅。四氯 化硅是一种具有强腐蚀性的有毒有害液体,必须进行处理,以免污染环境。 目前,各多晶硅生产厂家对于四氯化硅的处理方法主要有以下几种 1 、四氯化硅加氢热氢化后转化成三氯氢硅 该工艺为在常压下将四氯化硅和氢气于125(TC左右加热,制得三氯氢硅和氯化 氢。但该热氢化工艺转化率较低,仅为20%左右,能耗高,转换工序复杂,设备投资大,未能 在多晶硅生产企业中得到大规模的应用。 2、利用四氯化硅生产制成气相白炭黑、硅酸乙酯、有机硅等产品 由于运输、生产的产品附加值较低等原因,该方法对四氯化硅的利用率较低,该方法也未能在多晶硅生产企业中得到大规模的应用。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种转化率较高的由四氯化硅制取三氯氢硅 的方法。 本专利技术为在压力为O. 3 0. 6Mpa的氢化炉内通 入摩尔比为0. 15 0. 4 : 1的四氯化硅和氢气进行反应 ...
【技术保护点】
由四氯化硅制取三氯氢硅的方法,其特征在于:在压力为0.3~0.6Mpa的氢化炉内通入摩尔比为0.15~0.4∶1的四氯化硅和氢气进行反应。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:唐前正,何劲,赵新征,卢涛,彭卡,李品贤,
申请(专利权)人:乐山乐电天威硅业科技有限责任公司,
类型:发明
国别省市:51[中国|四川]
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