【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种电容式射频微机械开关。
技术介绍
目前，电容式射频微机械(RF-MEMS)开关主要采用折叠梁或斜拉梁结构，电容式射频 微机械开关的驱动电压过大，远远超过CM0S集成电路的标准电压5V。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种扭转梁电容式射频微机械开关，以解决现有电容式射频微 机械开关存在着驱动电压过大，远远超过CM0S集成电路的标准电压5V的问题。本技术为解决上述技术问题采取的技术方案是所述机械开关包括衬底、第一绝缘 介质层、多个信号输出线、锚和上电极；所述机械开关还包括悬臂梁，所述衬底的上端面与 第一绝缘介质层的下端面连接，第一绝缘介质层的上端面分别与多个信号输出线连接，每个 信号输出线的上端面与锚的下端面连接，所述悬臂梁由制成一体的挠度悬臂梁和扭转悬臂梁 构成，所述挠度悬臂梁的一端固定在锚上，所述挠度悬臂梁的另一端与上电极的下端面连接本技术具有以下有益效果本技术的悬臂梁采用挠度悬臂梁和扭转悬臂梁，不 仅利用了悬臂梁的挠度，还利用悬臂梁的扭转效应，从而有效降低了电容式射频微机械开关 的驱动电压，在当前加工工艺条件下，占用同样面积的条件基于扭转的RF-ME...
【技术保护点】
一种扭转梁电容式射频微机械开关，所述机械开关包括衬底（１）、第一绝缘介质层（２）、多个信号输出线（３）、锚（５）和上电极（６）；其特征在于所述机械开关还包括悬臂梁（７），所述衬底（１）的上端面与第一绝缘介质层（２）的下端面连接，所述第一绝缘介质层（２）的上端面分别与多个信号输出线（３）连接，每个信号输出线（３）的上端面与锚（５）的下端面连接，所述悬臂梁（７）由制成一体的挠度悬臂梁（７－１）和扭转悬臂梁（７－２）构成，所述挠度悬臂梁（７－１）的一端固定在锚（５）上，所述挠度悬臂梁（７－１）的另一端与上电极（６）的下端面连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：宋明歆，梅金硕，宋亮，殷景华，王东兴，
申请(专利权)人：哈尔滨理工大学，
类型：实用新型
国别省市：93[中国|哈尔滨]
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