具有导电机械停止器的MEMS微开关制造技术

本发明专利技术涉及一种具有导电机械停止器的ＭＥＭＳ微开关。ＭＥＭＳ开关３０、５０、６０、７０、８０包含衬底３２、耦接到该衬底３２的活动致动器５３、６３、８３，衬底接触３５、８５，衬底电极３６、５６、８６，和电耦接到该活动致动器３３、６３、８３并被构造为防止该活动致动器３３、６３、８３与衬底电极３６、５６、８６接触，但允许该活动致动器３３、６３、８３与衬底接触３５、８５形成接触的导电停止器３９、５９、６９、７９。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术 一般涉及具有导电机械停止器的微电机械系统(MEMS )开关。
技术介绍
微电机械系统(MEMS)是在小型密封外壳中的电机械装置，其大小一 般在微米到毫米的范围内。微开关形式的MEMS装置具有活动致动器(也 称作梁)，在安置在该活动致动器下方或附近的衬底上的栅极或村底电 极的作用下，该活动制动器朝着固定的电接触移动。该活动致动器可以 是有弹性的梁，其在所施加的例如静电吸引、磁场吸引和排斥、或者热 引起的不均匀膨胀等的力的作用下弯曲，从而闭合该梁的自由端和该固 定的接触之间的间隙。图1示出根据现有技术的、在打开或者说非导电状态下的MEMS开 关的剖面图。如图所示，MEMS开关10包含衬底12、布置在衬底12上 的绝缘层14和机械地耦接或锚定到的源电极18的活动致动器23。活动 致动器23包含活动接触17，其在活动致动器23偏转的情况下和布置在 衬底12上但与其电隔离的衬底接触15形成接触。衬底电极16位于活 动致动器23下方，使得当致动电压施加在该衬底电极16上时，该活动致 动器23偏转以使该活动接触与该固定接触(例如衬底)之间形成接触以 允许电流流过。为了防止导电活动致本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＭＥＭＳ开关３０、５０、６０、７０、８０，包括：　衬底３２；　耦接到该衬底３２的活动致动器３３、６３、８３；　衬底接触３５、８５；　衬底电极３６、５６、８６；和　导电停止器３９、５９、６９、７９，其电耦接到 该活动致动器３３、６３、８３并被构造为，防止该活动致动器３３、６３、８３与衬底电极３６、５６、８６接触，但允许该活动致动器３３、６３、８３与衬底接触３５、８５形成接触。

【技术特征摘要】
US 2007-12-20 11/9617671. 一种MEMS开关30、50、60、70、80，包括衬底32；耦接到该衬底32的活动致动器33、63、83；衬底接触35、85；衬底电极36、56、86；和导电停止器39、59、69、79，其电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为，防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触。2. 如权利要求1所述的MEMS开关，其中该活动致动器33， 63， 83和 衬底电极36， 56， 86与衬底32电隔离。3. 如权利要求1所述的MEMS开关，其中该活动致动器33,63, 83包 括导电梁。4. 如权利要求3所述的MEMS开关，其中该导电停止器39,59具有 比该导电梁的电阻率更高的电阻率。5. 如权利要求1所迷的MEMS开关，其中该导电停止器39位于该衬 底32上，并且衬底电极36位于该导电停止器39和该衬底接触35之间。6. 如权利要求5所述的MEMS开关，其中导电停止器39， 59被构造 为使得在该活动致动器33和该衬底接触35形成接触之前和该导电停止 器39，59形成接触。7. 如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：X王，K苏布拉马尼安，CF凯梅尔，MF艾米，KVSR基肖尔，GS克莱顿，OC布姆豪尔，P萨克尔，
申请(专利权)人：通用电气公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]