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本发明涉及一种具有导电机械停止器的ＭＥＭＳ微开关。ＭＥＭＳ开关３０、５０、６０、７０、８０包含衬底３２、耦接到该衬底３２的活动致动器５３、６３、８３，衬底接触３５、８５，衬底电极３６、５６、８６，和电耦接到该活动致动器３３、６３、８３并被构...
该专利属于通用电气公司所有，仅供学习研究参考，未经过通用电气公司授权不得商用。

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