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扭转梁电容式射频微机械开关，它涉及一种电容式射频微机械开关。针对目前电容式射频微机械（ＲＦ－ＭＥＭＳ）开关主要采用折叠梁或斜拉梁结构，电容式射频微机械开关存在着驱动电压过大，远远超过ＣＭＯＳ集成电路的标准电压５Ｖ问题。衬底的上端面与第一绝缘...
该专利属于哈尔滨理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨理工大学授权不得商用。

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