声波装置及其制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种声波装置及其制作方法。一种制作声波装置的方法包括：在压电衬底上形成具有多个电极指的交叉指型电极；形成阻挡膜，以使其覆盖交叉指型电极；在阻挡膜上形成介质；测量由交叉指型电极激发的声波装置的频率特性；以及在声波装置由交叉指型电极激发的激发区域中，通过使阻挡层图案化或者进一步设置调整膜，来形成与其他部分具有不同厚度的调整区域。当形成调整区域时，依照所测量的频率特性来调整激发区域中的调整区域的面积Ｔ。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制作声波装置的方法，包括：在压电衬底上形成具有多个电极指的交叉指型电极；形成阻挡膜，以使其覆盖所述交叉指型电极；在所述阻挡膜上形成介质；测量由所述交叉指型电极激发的声波装置的频率特性；以及在声波装置由所述交叉指型电极激发的激发区域中，通过使所述阻挡层图案化或者进一步设置调整膜，来形成与其他部分具有不同厚度的调整区域，其中，当形成所述调整区域时，依照所测量的频率特性来调整所述激发区域中的所述调整区域的面积Ｔ。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松田聪，三浦道雄，松田隆志，
申请(专利权)人：太阳诱电株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]