【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅麦克风装置，其特征在于：其包括硅基片、设置在硅基片上的第一ＭＥＭＳ芯片、第二ＭＥＭＳ芯片及设置在硅基片上且与第一ＭＥＭＳ芯片和第二ＭＥＭＳ芯片分别电连接的数据信号处理单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孟珍奎，
申请(专利权)人：瑞声声学科技常州有限公司，瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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