一种MEMS麦克风测试机构制造技术

本发明专利技术公开了一种MEMS麦克风测试机构，包括测试声腔、产品测试底座和测试针座。测试声腔设在产品测试底座的下方，能为待测MEMS麦克风提供外部声源。产品测试底座的顶部设有产品放置槽，产品放置槽底部设有中心进音孔，其周边设有周边进音孔，周边进音孔的外周设有第一密封结构。测试针座的高度能够升降；测试针座底部设有空腔和和第二密封结构。当测试针座高度下降时，第二密封结构能与第一密封结构密封配合，在待测MEMS麦克风的上方形成与测试声腔相连通且密封的“第二声腔”。采用上述结构后，通用性强，能对前进音麦克风或背进音麦克风等进行声学检测，节省生产成本，另外，测试结果准确度高，测试结果更稳定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电子产品检测机构，特别是一种MEMS麦克风测试机构。
技术介绍
麦克风能把人的语音信号转化为相应的电信号，广泛应用于手机，电脑，电话机，照相机及摄像机等。MEMS麦克风是基于微型机电系统（MicroelectromechanicalSystems，简写为MEMS）技术制造的麦克风。随着IT技术的日益发展，MEMS麦克风所占比重越来越大，尤其在PC的多媒体音视频应用及已经登场的4G手机应用领域，对音频信号的输入质量及抗外界各种干扰的能力都提出了更高的要求。因此，对MEMS麦克风的声学测试也提出了更高的要求。现有的MEMS麦克风测试机构存在着如下不足：1.通用性差且测试效果不稳定，准确度差。综合MEMS麦克风的灵敏度及信噪比方面的考虑，现有技术中的MEMS麦克风并存有前进音麦克风或背进音麦克风等多种形式。然而，现有的MEMS麦克风测试机构仅能针对前进音麦克风或背进音麦克风等中的一种进行测试。如需对多种形式均进行检测，则需购买或制造多种MEMS麦克风测试机构，通用性差，增加了用户的购买成本。另外，当采用常规MEMS麦克风测试机构进行前进音麦克风或背进音麦克风测试时，会因各种因素导致待测麦克风放置不平等，进而影响测试准确度，测试效果也不稳定。2.对MEMS麦克风的封装密闭性无法进行检测。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供一种MEMS麦克风测试机构，该MEMS麦克风测试机构通用性强，能对前进音麦克风或背进音麦克风等进行声学检测，节省生产成本，同时，测试结果准确度高，测试结果更稳定。另外，本申请提供的MEMS麦克风测试机构，还能对待测MEMS麦克风的封装密闭性进行检测。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种MEMS麦克风测试机构，包括测试声腔、产品测试底座和测试针座；测试声腔设置在产品测试底座的下方，且顶端开口，能为待测MEMS麦克风提供外部声源；产品测试底座的顶部设置有用于安装待测MEMS麦克风的产品放置槽，产品放置槽的底部设置有底部进音孔，产品放置槽的周边设置有周边进音孔，底部进音孔和周边进音孔均与测试声腔相连通；周边进音孔的外周设置有第一密封结构；测试针座位于产品测试底座的正上方，测试针座的高度能够升降；测试针座底部设置有空腔和和位于空腔外周的第二密封结构；当待测MEMS麦克风安装在产品放置槽内，测试针座高度下降时，测试针座底部的第二密封结构能与产品测试底座的第一密封结构密封配合，在待测MEMS麦克风的上方形成密封的“第二声腔”，该“第二声腔”通过周边进音孔与测试声腔相连通。所述测试声腔包括位于上部的前声腔和位于下部的后声腔，后声腔内设置有喇叭，前声腔顶端开口，且前声腔内设置有麦克风。所述测试声腔的中部设置有喇叭固定座，前声腔位于喇叭固定座的上方，后声腔位于喇叭固定座的下方。所述产品测试底座通过螺栓与测试声腔的顶端固定连接。所述待测MEMS麦克风为背进音麦克风或前进音麦克风。所述第一密封结构为密封垫，第二密封结构为密封圈。本专利技术采用上述结构后，具有如下有益效果：1.在测试过程中，测试针座下压与产品测试底座相贴合，由于第一密封结构和第二密封结构的密封配合，从而能在待测MEMS麦克风上方形成密封性良好地“第二声腔”。前声腔中的声音通过产品测试底座上的周边进音孔进入待测MEMS麦克风上方的第二声腔，前声腔中的声音同时还通过中心进音孔进入待测MEMS麦克风的底部。因此，本专利技术的MEMS麦克风测试机构，一方面，能实现前进音MEMS麦克风或背进音MEMS麦克风的兼容性测试。另一方面，能避免常规背进音MEMS麦克风测试时，测试针在待测产品下面，导致待测MEMS麦克风放置不平等带来的影响，使得测试准确度更高，测试效果更稳定。2.本专利技术的MEMS麦克风测试机构，由于能实现MEMS麦克风测试时的双向进声，也即待测MEMS麦克风的顶部和底部能同时进音，因此，一旦待测MEMS麦克风存在封装密封性不良时，即会出现低频下跌等现象，从而能用于检测判断待测MEMS麦克风的密封密闭性。附图说明图1显示了本专利技术一种MEMS麦克风测试机构的结构示意图。图2显示了本专利技术中产品测试底座的结构示意图。图3显示了本专利技术中测试针座的结构示意图。图4显示了图3中测试针座的仰视图。其中有：1.测试针板；2.测试针座；3.密封圈；4.密封垫；5.产品测试底座；6.测试声腔；7.麦克风；8.喇叭固定座；9.喇叭；10.待测MEMS麦克风；11.第二声腔；12.中心进音孔；13.前声腔；14.后声腔；15.产品放置槽；16.周边进音孔；17.测试针；18.空腔。具体实施方式下面结合附图和具体较佳实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。如图1所示，一种MEMS麦克风测试机构，包括测试声腔6、产品测试底座5和测试针座2。测试声腔设置在产品测试底座的下方，测试声腔的顶端优选通过螺栓与产品测试底座固定连接。作为替换，测试声腔的顶端也可采用卡合、焊接等其他已知的连接方式与产品测试底座固定连接。上述测试声腔，能为待测MEMS麦克风10提供外部声源。待测MEMS麦克风可以为背进音麦克风，也可以为前进音麦克风。本申请的MEMS麦克风测试机构，能对背进音麦克风和前进音麦克风进行兼容性测试。测试声腔的中部设置有喇叭固定座8，位于喇叭固定座上方的部分为前声腔13，位于喇叭固定座下方的部分为后声腔14。后声腔内设置有喇叭9，前声腔顶端开口，且前声腔内设置有麦克风7。如图2所示，产品测试底座的顶部设有产品放置槽15，该产品放置槽15用于安装待测MEMS麦克风10。待测MEMS麦克风10在安装时，无论是前进音MEMS麦克风还是背进音MEMS麦克风，其Pad面都朝上。产品放置槽的底部设置有底部进音孔12，产品放置槽的周边设置有周边进音孔16。底部进音孔和周边进音孔均与测试声腔的前声腔相连通。周边进音孔的外周设置有第一密封结构，该第一密封结构优选为密封垫4，但作为替换，第一密封结构也可以为密封圈等其他密封结构。测试针座2位于产品测试底座的正上方，测试针座的高度能够升降。如图3和图4所示，测试针座底部设置有空腔18和和位于空腔外周的第二密封结构。测试针座2的顶部设置有测试针板1，测试针板上设置有若干根伸入空腔18的测试针17。第二密封结构优选为密封圈3，但作为替换，第一密封结构也可以为密封垫等其他密封结构。测试时，测试针座下压，测试针座的测试针与待测MEMS麦克风的测试组件相接触。测试针座底部的第二密封结构能与产品测试底座的第一密封结构密封配合，在待测MEMS麦克风的上方形成密封性良好的“第二声腔”11，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS麦克风测试机构，其特征在于：包括测试声腔、产品测试底座和测试针座；测试声腔设置在产品测试底座的下方，且顶端开口，能为待测MEMS麦克风提供外部声源；产品测试底座的顶部设置有用于安装待测MEMS麦克风的产品放置槽，产品放置槽的底部中心设置有中心进音孔，产品放置槽的周边设置有周边进音孔，中心进音孔和周边进音孔均与测试声腔相连通；周边进音孔的外周设置有第一密封结构；测试针座位于产品测试底座的正上方，测试针座的高度能够升降；测试针座底部设置有空腔和和位于空腔外周的第二密封结构；当待测MEMS麦克风安装在产品放置槽内，测试针座下压时，测试针座底部的第二密封结构能与产品测试底座的第一密封结构密封配合，在待测MEMS麦克风的上方形成密封的“第二声腔”，该“第二声腔”通过周边进音孔与测试声腔相连通。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风测试机构，其特征在于：包括测试声腔、产品测试底座和测试针座；
测试声腔设置在产品测试底座的下方，且顶端开口，能为待测MEMS麦克风提供外部声源；
产品测试底座的顶部设置有用于安装待测MEMS麦克风的产品放置槽，产品放置槽的底部中心设置有中心进音孔，产品放置槽的周边设置有周边进音孔，中心进音孔和周边进音孔均与测试声腔相连通；周边进音孔的外周设置有第一密封结构；
测试针座位于产品测试底座的正上方，测试针座的高度能够升降；测试针座底部设置有空腔和和位于空腔外周的第二密封结构；
当待测MEMS麦克风安装在产品放置槽内，测试针座下压时，测试针座底部的第二密封结构能与产品测试底座的第一密封结构密封配合，在待测MEMS麦克风的上方形成密封的“第二声腔”，该“第二声腔”通过周边进音孔与...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈恕华，
申请(专利权)人：苏州搏技光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32