石英晶片低温频温曲线测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种石英晶片低温频温曲线测试装置，由晶片试验装置、铂电阻、电路组件、频率测量系统和电缆线组成，晶片试验装置包括晶片安装板（１）、温控法兰（２）、加热片（３）和温控盖板（７），晶片安装板（１）整体呈倒置的π形，突台式温控法兰（２）扣在晶片安装板（１）上，形成一个放置被测晶片的空间，温控法兰（２）的上部设置有圆形的加热片（３），加热片（３）的上部设置有圆形的温控盖板（７），突台外的圆形底板上均布有数个与冷屏的安装孔（９），可以通过螺钉将温控法兰２的外圈与冷屏接触且固定。本发明专利技术填补了国内空白，采用冷屏降温、加热片升温的方式，可以高精度的测试晶片性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种航天领域使用的石英晶体微量天平的测试装置，尤其涉及到天平中的石英晶片的低温频温曲线测试装置。
技术介绍
石英晶体微量天平中的关键部件是石英晶片，它决定了石英晶体微量天平的测量 精度、测量稳定性和可靠性。晶片的设计、研制、筛选是保证石英晶体微量天平研制达到技 术要求的关键工作。目前国内生产石英晶片的厂家只有测试高温频温特性的测试方法，对 低温情况下石英晶片的频温测试没有研究。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种低温情况下石英晶片的频温测试装置，填补国内空白。 本专利技术可由以下技术方案完成 —种石英晶片低温频温曲线测试装置，由晶片试验装置、铂电阻、电路组件、频率 测量系统和电缆线组成，晶片试验装置包括晶片安装板、温控法兰、加热片和温控盖板，晶 片安装板整体呈倒置的n形，温控法兰是一个突台法兰，扣在晶片安装板上，形成一个放 置被测晶片的空间，温控法兰的上部设置有圆形的加热片，加热片的上部设置有圆形的温 控盖板，加热片和温控盖板的直径与突台的内径相同，突台外的圆形底板上均布有数个与 冷屏的安装孔。 本专利技术的有益效果在于 a.提供低温情况下石英晶片的频温测试装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英晶片低温频温曲线测试装置，由晶片试验装置、铂电阻、电路组件、频率测量系统和电缆线组成，晶片试验装置包括晶片安装板（１）、温控法兰（２）、加热片（３）和温控盖板（７），其特征在于，晶片安装板（１）整体呈倒置的π形，温控法兰（２）是一个突台法兰，扣在晶片安装板（１）上，形成一个放置被测晶片的空间，温控法兰（２）的上部设置有圆形的加热片（３），加热片（３）的上部设置有圆形的温控盖板（７），加热片（３）和温控盖板（７）的直径与突台的内径相同，突台外的圆形底板上均布有数个与冷屏的安装孔（９）。

【技术特征摘要】
一种石英晶片低温频温曲线测试装置，由晶片试验装置、铂电阻、电路组件、频率测量系统和电缆线组成，晶片试验装置包括晶片安装板(1)、温控法兰(2)、加热片(3)和温控盖板(7)，其特征在于，晶片安装板(1)整体呈倒置的π形，温控法兰(2)是一个突台法兰，扣在晶片安装板(1)上，形成一个放置被测晶片的空间，温控法兰(2)的上部设置有圆形的加热片(3)，加热片(3)的上部设置有圆形的温控盖板(7)，加热片(3)和温控盖板(7)的直径与突台的内径相同，突台外的圆形底板上均布有数个与冷屏的安装孔(9)。2. 如权利要求l所述的石英晶片低温频温曲线测试装置，其特征在于，晶片安装板(1) 具有一个圆形底板，圆形底板中心开有装置开孔(6)，距离圆形底板边缘向中心一定距离处 向上形成圆环形保护台阶(14)。3. 如权利要求2所述的石英晶片低温频温曲线测试装置，其特征在于，温控法兰(2)的 圆环形突台包围着保护台阶(14)。4. 如权利要求3所述的石英晶片低温频温曲线测试装置，其特征在于，温控法兰(2)的 突台正对着保护台阶(14)外圈的与温控法兰固定表面(15)，两者相接触，通孔垂直穿过这 两部分，形成晶片安装板与温控法兰安装孔(8)。5. 如权利要求4所述的石英晶片低温频温曲线测试装置，其特征在于，铂电阻安装在 温控法兰(2)中心的铂电阻安装孔(5)处，温控法兰(2)的上表面上，从铂电阻安...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧卫国，易忠，杨东升，于钱，
申请(专利权)人：北京卫星环境工程研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]