西门子法多晶硅尾气处理方法技术

本发明专利技术公开了一种西门子法多晶硅尾气处理方法，包括以下步骤：（１）配料：将四氯化硅与水按摩尔比０．５～０．８∶１～２．４混匀；（２）反应：对混合物料进行加热回流，温度为１００～１５０℃，回流时间为２～４小时；（３）分离：反应完毕后，将产生的固体产物与气体产物和原料四氯化硅分离；（４）冷凝分离：用冷凝法分离气体产物和原料四氯化硅。本发明专利技术处理速度快，处理量大，处理成本低，没有二次污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
由于电子市场和太阳能市场对多晶硅的大量需求，西门子法硅企业大量上马，而污染问题也相继暴光，并且尾气的治理已成为硅企业发展的瓶颈，为此解决西门子法多晶硅尾气的治理问题成了企业发展的重中之重。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种，该方法工艺简单、成本低廉、设备投资少。 为解决上述技术问题，本专利技术所提供的技术方案是一种，包括以下步骤 (1)配料将四氯化硅与水按摩尔比0. 5 0. 8 : 1 2. 4混匀； (2)反应对混合物料进行加热回流，温度为100 150°C，回流时间为2 4小时； (3)分离反应完毕后，将产生的固体产物与气体产物和原料四氯化硅分离； (4)冷凝分离用冷凝法分离气体产物和原料四氯化硅。 步骤(1)中四氯化硅与水的摩尔比为1 : 2。 步骤(2)中反应条件为温度100 ll(TC，回流时间为2 2. 5小时。 步骤(3)中反应条件为温度在6(TC以上。 步骤(4)中反应条件为冷凝温度为30 50°C 。 本专利技术的工作原理利用四氯化硅与水之间的反应，将四氯化硅无害化处理SiCl4+2H20 = Si02+4HC1 ;本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种西门子法多晶硅尾气处理方法，包括以下步骤：（１）配料：将四氯化硅与水按摩尔比０．５～０．８∶１～２．４混匀；（２）反应：对混合物料进行加热回流，温度为１００～１５０℃，回流时间为２～４小时；（３）分离：反应完毕后，将产生的固体产物与气体产物和原料四氯化硅分离；（４）冷凝分离：用冷凝法分离气体产物和原料四氯化硅。

【技术特征摘要】
一种西门子法多晶硅尾气处理方法，包括以下步骤(1)配料将四氯化硅与水按摩尔比0.5～0.8∶1～2.4混匀；(2)反应对混合物料进行加热回流，温度为100～150℃，回流时间为2～4小时；(3)分离反应完毕后，将产生的固体产物与气体产物和原料四氯化硅分离；(4)冷凝分离用冷凝法分离气体产物和原料四氯化硅。2. 根据权利要求l所述的西门子法多晶硅尾气处理方法，其特征在于步骤(1)中四氯化...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯振海，王宏达，张军，
申请(专利权)人：王宏达，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]